| Model | 463VSMH | 713VSMH |
| X-Y行程
（mm） | 460X 305
(18" X 12") | 711 X 610
(28" X 24" ) |
| 外形尺寸（寬） | 102cm（40“） | 127cm（50“） |
| 外形尺寸（長） | 102cm（40“） | 163cm（64“） |
| 外形尺寸（高） | 173cm（68“） | 173cm（68“） |
| 包裝重量
凈重（kg） | 1043kg（2300 lbs）
726kg（1600 lbs） | 1630kg（3600 lbs） 1225kg（2700 lbs） |
| X-Y 平臺速度 | 500 mm (20") 每秒 |
| X-Y 精度 | E2=(1.8 5L/1000)μm,L= 測量長度（mm） 用像素值小于2μm 的校正件在20℃下測量 |
| Z軸參數 | 行程200mm(8")，速度150mm(6") 每秒重復精度±3μm(±0.00012") 在高倍鏡下 |
| Z精度 | E1=(1.5 5L/1000)μm,L= 測量長度（mm） 使用像素值小于2μm 的校正件在20℃下測量 |
| 環境參數 | 溫度范圍：20±2°C，相對濕度：30% -80% |
| 控制系統 | 基于windows 的工控系統 |
| 電源參數 | 輸入電壓：115/230VAC, 輸入電流：50/60Hz, 功率：1.0KW |
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