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產品簡介

日立冷場發射掃描電鏡
超高分辨場發射掃描電子顯微鏡Regulus系列

詳細介紹

日立冷場發射掃描電鏡

現有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"繼承了現有機型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場發射電子槍*1，可以獲得高穩定的束流。

通過優化電子光學系統，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

此外，為充分發揮超高分辨的能力，放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能，通過此功能用戶更容易理解各種復雜信號的檢測原理，幫助用戶充分發揮儀器的優良性能。

 主要特點：
1. 配備加速電壓減速功能，優良的低加速電壓成像能力，1kV分辨率可達1.1nm

2. 日立E×B技術，無需噴鍍，可直接觀測不導電樣品

3. 配備電子槍內置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能

4. SE與BSE任意比例搭配功能

日立冷場發射掃描電鏡

 應用領域：
1.納米材料
2.半導體器件
3.高分子材料
4.生物醫學
5.新能源