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1.吸附法

吸附劑有活性炭、硅膠、活性白土等。但吸附容量小、會產生二次污染。例如氣相活性炭是普遍的吸附劑，常使用廢氣治理中吸附有害物質，可以有效除去烴、氯烴、氧烴（甲醛除外）等氣體。這種方法是把有機物吸附在多孔固體表面上而去除工業廢氣中有害分子，這種方法運行費用高，產生大量的固體廢棄物造成二次污染，需要再處理。

2.化學洗滌法

化學洗滌法是通過氣-液接觸，使氣相工業廢氣成分轉移至液相，并借化學劑與工業廢氣成分的中和、氧化或其它反應去除工業廢氣中的化學物質。使用范圍廣，但產生廢液會造成二次污染，需要再處理。

3.生物法

生物法是把氣相中的有機物傳輸至液相或固相生物膜，由微生物吸收并把它氧化分解為二氧化碳、水等終產物。生物法分為生物洗滌、生物滴濾、生物濾床法等三種，它們的主要差別在微生物的相態與液體的狀態。但只是在處理低濃度、易生物降解的有機氣相污染物時才具有其經濟性，即普適性差。

4.直接燃燒法

有機廢氣直接燃燒裝置組成及控制。

第一部分：催化燃燒系統。主要由催燃燒床（由電加熱室、催化室和熱交換器組成）、阻火器、溫度探測器和相應的電動閥門、保溫管道組成。主要功能是利用催化燃燒床中電加熱器來加熱生產線產生的廢氣，使其中的有機廢氣在催化劑的作用下于280-300℃左右轉化為二氧化碳和水并釋放出大量熱量。熱量通過熱交換器對熱量再利用。

第二部分：控制系統。主要由PLC電控柜、溫度顯示儀表、電動閥門執行器及面板模擬流程圖等組成，功能是控制工作過程中管道中有關閥門的開關。按工藝條件的要求，控制電加熱器啟動和停止，控制和指示催化床加熱溫度、反應溫度、氣流進口溫度和氣流出口溫度，設備運行過程中異常情況的和自動停機。與總控制系統互給信號，實現互動連接。該治理設備前期投資大，運行成本較高，不適合濃度低、風量大的廢氣治理，且內部催化劑易中毒。

5.吸附脫附+催化燃燒

有機廢氣首先通過干過濾，將廢氣中顆粒狀污染物截留去除，然后進入吸附床進行吸附，利用具有大比表面積的活性炭有機溶劑吸附在活性炭表面，吸附可使有機廢氣凈化效率高達90-95%，本裝置采用活性炭吸附濃縮、熱氣流吸附和催化燃燒的組合工藝凈化各種有機廢氣。

工藝流程為：先將有機廢氣用活性炭進行吸附，在活性炭吸附飽和后停止吸附，然后用熱氣流將有機物從活性炭上脫附出來使其再生。脫附后的有機物被送往催化燃燒床，在催化劑的作用下氧化分解，轉化為二氧化碳和水排出。

6.等離子體氧化法

利用電子、離子、自由基和中性粒子小于分子，能夠順利進入分子內部，打開分子鏈，破壞分子結構的原理，以每秒鐘300萬至3000萬速度的等量發射和回收，轟擊工業廢氣中的化學物質分子，從而發生氧化等一系列復雜的化學反應，將有害物質轉化為無害物質。適合低濃度的工業廢氣凈化，根據規范風速設計為：≦3m/s。

7.UV高效光解氧化法

1)利用特制的高能UV紫外線光束照射惡臭氣體，裂解惡臭氣體如：氨、、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、、二的分子鍵。

2)利用高臭氧分解空氣中的氧分子游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧，使呈游離狀態的污染物分子與臭氧氧化結合成小分子無害或低害的化合物。如二氧化碳、水等UV+O-0+O（活性氧）臭氧。

3)利用特制的催化劑進行氧化還原反應；運用高能UV紫外線光束、臭氧及催化劑對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，是惡臭氣體物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，徹底達到脫臭及殺滅的目的。

8.微波催化技術

頻率從300MHz-300GMHz的電磁波，其方向和大小隨時間作周期性變化；微波與廢氣物分子直接作用，將超高頻電磁波能量對廢氣進行微波輻射，使細胞中極性物質隨高頻微波場的擺動受到干擾和阻礙，引起微生物細胞的蛋白質，核酸等生物大分子受凝固或失活，從而導致其突變或死亡，同時對磁共振使之產生強磁輻射對廢氣分子進行切割、破壞、斷裂。

如：氨、、硫化氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯，硫化物、VOC類，苯、、二的分子鍵，破壞的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，徹底達到脫臭及殺滅的目的。后采用特制合成催化劑對廢氣進行光合還原反應。可有效地破壞廢氣中分子鏈，將有毒有害物質改變成為低分子無害物質，如水和二氧化碳等。

低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。ZKDLZ-型系列等離子有機廢氣凈化器采用了獨特的吸附－分解－碳化新工藝技術設計，采用標準模塊設計等優點，是一種干法處理有機廢氣的凈化設備。它改變了使用活性碳材料的工藝技術，無需再生處理原料，無需專人負責，不產生二次污染，更換及維護保養方便（可在設備正常運行情況下更換維護操作）。AFY型系列等離子有機廢氣凈化器產品，無需增大抽風設備風阻小，安裝簡便，可根據客戶現場環境要求分組制造，方便運輸及安裝。設備結構緊湊，投資低，操作方便，產品采用標準型材料制造，或采用全不銹鋼材料制造，處理風量有6000～60000m3／h，以上是目前處理工業有機廢氣污染的先進設備;采用脈沖高壓高頻等離子體電源和齒板放電裝置，使其產生度、高濃度、高電能的活性自由基，在毫秒級的時間內，瞬間對有害廢氣分子進行氧化還原反應，將廢氣中的大部分污染物降解成二氧化碳和水及易處理的物質。