| ***終清洗機 |
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價格： 元(人民幣) | 產地：本地 |
| 最少起訂量：1 | 發貨地：本地至全國 | |
| 上架時間：2019-05-07 08:00:15 | 瀏覽量：228 | |
南通華林科納半導體設備有限公司
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| 經營模式：其他 | 公司類型：華林科納cse | |
| 所屬行業：分立半導體 | 主要客戶：全國 | |
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是否進口否 加工定制是 類型cse 適用領域電子行業 用途工業用 槽數cse 型號cse 品牌cse 展開 ***終清洗機 點我去除廣告 一、設備名稱 南通華林科納cse - ***終清洗機設備 二、設備用途 清洗槽用于6/8吋兼容，集成電路制造工藝的***終清洗。配合load and oad的上下料，實現干進干出，每批次50枚cassette type 的高效清洗。擁有三種工藝槽，三水槽+一個干燥單元： 1個dhf清洗槽、一個of槽、一個sc-1槽、一個qdr槽、一個sc-2槽、一個qdr槽、一個干燥槽。 三、設備功能 chemical bath：自動換酸。自動洗槽，自動槽內配比。 diw bath：pre flow and after change function。 s/d：6/8 inch 自動換位，旋干。 機械手臂：chuck open/close type，speed為可控變動； schedule：排程計算，實現多批次同時清洗，不發生process over time。 safety：door，temp，level，exhaust…等等interlock safety。 四、設備工藝流程 進貨區（load）→dhf（100:1）→of槽→sc-1槽→qdr槽→sc-2槽→ord槽→s/d槽→出貨區（unload） high wph type：awb200-t。雙cassette 50枚/槽。 6/8 inch 兼容cassette type 前面式機械手臂arm-1、arm-2、arm-3共三套。 機臺上部設有高效過濾器（ffu）。 五、工藝技術指標 設備應實現全自動作業，可自動過程控制工藝、沖水及干燥全套作業，并具備自動供液、自動洗槽、sc1-1槽帶有兆生；可編程選擇工藝槽及工藝時間進行清洗。 通過dhf/sc-1/sc-2完成***終清洗工藝，對圓片表面沾污及顆粒實現有效清洗。顆粒要求0.2um，0.16um作為參考，金屬1e 10。 n2過濾精度：0.01μm。 |
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