氣體傳感器介紹

半導體氣體傳感器可分為電阻型和非電阻型結型、MOSFET型、電容型。電阻型氣敏器件是氣體分子引起敏感材料電阻變；非電阻型氣敏器件有Ms二極管和結型二極管以場效應管MSFET，它利用敏感氣體會改變MOSFET開啟電壓，其與ISFET離子敏傳感器件相同。

氣體傳感器樣式

SnO2電阻型氣敏器件通常采用燒結工藝。以多孔SnO2為基底材料，再添加不同其他物質，用制陶工藝燒結而成，燒結時埋入加熱和測量電極。此外，也蒸發和濺射等工藝制成薄膜器件和多層膜器件，這類器件靈敏度高，動態特性。

氣體傳感器類型

氣敏二極管特性曲線左移看作二極管導通電壓發生改變，這一特性如果發生在場效應管柵極，將使場效應管閾值電壓UT改變。利用這一制成MOSFET型氣敏器件。