| 英思特濕法IPA干燥系統 上門地址服務 |
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價格：100 元(人民幣) | 產地：如皋 |
| 最少起訂量：1臺 | 發貨地：如皋 | |
| 上架時間：2020-07-14 09:24:50 | 瀏覽量：929 | |
江蘇英思特半導體科技有限公司
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| 經營模式：生產加工 | 公司類型：私營有限責任公司 | |
| 所屬行業：清洗機 | 主要客戶：半導體 | |
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IPA 干燥系統 適用于最大尺寸300mm晶圓的干燥技術 ? 優點 NID?干燥系統利用IPA和N2霧化分配，以及晶圓與水脫離時形成了表面張力干燥的技術 適用于最大尺寸300mm晶圓的干燥技術 > 可單臺設備或整合在濕法設備中 > 最佳的占地 > 成熟的工藝 > 無水跡 > 無碎片 ? 特征和優點 應用 拋光片、集成電路、MEMES、LED、光伏、玻璃基片 一般特征 > 可同時干燥25到50片直徑最大為300mm的晶圓 > 適用于標準高邊或低邊花籃 ? 規格 工藝時間： 一般< 10 分鐘，受所選工藝菜單而變化 親水性晶圓片： ≤ 10 增加 @ 0.12 μm 疏水性晶圓片： ≤ 30 增加 @ 0.12 μm 金屬含量： 任何金屬≤ 1?1010 atoms / cm2 增加 干燥斑點： 干燥后無斑點 IPA 消耗量： ≤ 30 ml / run 去邊緣： 3 mm ? 圖形化的用戶界面 > 基于B&R plc > 可編輯菜單 > 自動記錄（EOR, ERR etc.） > 多等級密碼 ? 一般安裝參數 尺寸: 700 x 1500 x 2200 (長 x 寬 x 高) 標準電壓: 3 x 380 VAC 額定功率: 50 Hz ? 培訓 操作、維護、工藝培訓 標準 > CE > FM 4910 ? 可選項 > 層流 > IPA 濃度監測系統 > 熱N2 > UPS 組件 ? 可靠性 > 平均故障間隔時間 ≥ 800 h > 輔助平均間隔時間 ≥ 300 h ?> 可運行時間 ≥ 97 % ? |
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