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應用領域：超純電子材料超純水處理精密電子超純水處理半導體材料和集成電子超純水處理其它微電子用水處理典型工藝流程原水——原水箱——原水泵——多介質過濾器——活性碳過濾器——保安過濾器——高壓泵——反滲透——純水箱——送水泵——紫外線裝置——出水反滲透裝置運行參數：1、回收率：60-75%2、操作壓力：1-1.5Mpa3、細菌去除率：大于99%4、出水導電率：小于10μs/cm主要原器件質保期1年

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