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超純水是美國科技界為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來的水，這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒有任何雜質(zhì)，更沒有細(xì)菌、病毒、含氯二惡英等有機物，當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，一般不可直接飲用，對身體有害，會析出人體中很多離子。
制作18x106Ω•cm以上的超純水,是一般工藝很難達到的程度，采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，同時對終端出水使用的管路都需要有一定的要求，電阻率方可達18.25MΩ*cm
中國國家實驗室用水規(guī)格GB6682-92標(biāo)準(zhǔn),點擊行業(yè)應(yīng)用查詢標(biāo)準(zhǔn)
中國國家實驗室用水GB6682-2000標(biāo)準(zhǔn),點擊行業(yè)應(yīng)用查詢標(biāo)準(zhǔn)

制備超純水設(shè)備的工藝大致分成以下幾種：
　　1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙碳過濾器→精密過濾器→原水箱→陽床→陰床→混床→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
　　2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→沙碳過濾器→精密過濾器→反滲透設(shè)備→原水箱→純水泵→混床→后置精密過濾器→純水箱→用水點
　　3、采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子（EDI）設(shè)備進行搭配的的方式，這是一種制取超純水的新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に嚕浠竟に嚵鞒虨椋涸?rarr;沙碳過濾器→保安過濾器→反滲透設(shè)備→原水箱→純水泵→電去離子（EDI）→純水箱→用水點
4、采用反滲透+混合床方式，其流程如下：
原水→原水加壓泵→砂碳過濾器→保安過濾器→反滲透→中間水箱→中間水泵→混合床→微孔過濾器→用水點

以下為一經(jīng)典18x106Ω•cm工藝流程及圖片：
原水→原水泵→砂碳過濾器→加藥裝置→一級反滲透→中間水箱→PH調(diào)節(jié)裝置→二級反滲透→二級水箱→輸送泵→精密過濾器→TOC去除機→EDI→超純水箱→輸送泵→拋光混床→UV殺菌器→精密過濾器→用水點

常用行業(yè)：
集成電路工業(yè)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水

   東莞市鸞江水處理設(shè)備工程有限公司成立于2006年,是一家從事水處理設(shè)備及系統(tǒng)的設(shè)計、制造、安裝、調(diào)試、技術(shù)開發(fā)及配套材料的銷售的專業(yè)化企業(yè),主要產(chǎn)品有反滲透設(shè)備,離子交換設(shè)備,軟化水設(shè)備,超純水設(shè)備,純水設(shè)備,樹脂,濾芯等，公司產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于電子、電力、電鍍、化醫(yī)藥