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系統放大倍率和分辨率

幾何放大倍率

2100x

總放大倍率

>23000x

細節分辨率

小于1微米

亞微米X射線管

類型

開放式微米管、透射管頭、170度輻射角、準直功能

大管電壓

160KV

大管功率

20W

靶

無毒載體鎢靶，并可旋轉以多次使用

燈絲

鎢絲，經預調的即插式結構，更換簡單快捷，20分鐘內完成

真空系統

無油式低真空泵＋渦輪分子真空泵

探測器

數字成像鏈

高分辨率4” 雙視野圖像增強器2M像素高分辨率數字相機

操控平臺

總體結構

高精度抗震動、5軸同步驅動

大檢測范圍

410mm×410mm

大工件尺寸/重量

410mm×410mm/5kg

ovhm-斜角視圖旋轉

可調視角70°，n×360°

操控

操縱桿控制或鼠標(手動模式)和數控編程控制(自動模式)

軸速(X-Y-Z)

10μm/s到80mm/s

操控輔助功能

X射線影像導航圖，點擊移動功能，點擊放大功能， 自動保持視野中心功能，激光定位瞄準

防碰撞系統

防止檢測樣品與射線管產生碰撞

圖像處理軟件

phoenix x|act base

全面的X射線圖像分析軟件

包含圖像對比增強和濾波功能、測量功能、數控編程功能

bga|module

BGA焊點自動檢測功能

vc|module

空隙面積比自動計算，包括多芯片的貼裝空隙檢測功能

系統尺寸

尺 寸 (W x H x D)

1800mm×1900mm×1815mm（不包括控制臺）

高度可調控制面板

400mm

大重量

2050kg

輻射安全防護

全*位防護

鉛鋼防護結構與鉛玻璃窗的安全屏蔽室

輻射泄漏劑量率

<1μSv/h，符合國際標準

硬件選項

傾斜/旋轉裝置

傾斜±45°和旋轉n×360°，大工件重量為2kg

輔助定位裝置

十字線激光

旋轉臺用PCB板支架裝置

大載板尺寸310mm×310mm (12'×12')

XY-平臺

增大檢測區域為510mm×510mm (20'×20') (不使用旋轉臺)