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氦氣純化液化之前，氦的最終純化通常使用（a）在液氮溫度和高壓下使用活性炭吸收器或（b）變壓吸附（PSA）工藝進行。低溫吸附可產生99.9999％的氦純度，而PSA工藝可回收純度高于99.99％的氦。對于氣態氦氣，PSA的成本可能較低，但在需要液化氦氣生產的地方，PSA的成本可能更高。PSA工藝被廣泛用于結合超低溫濃縮生產純凈氦。