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![]() 氣體傳感器闡述人們已經(jīng)發(fā)現(xiàn)SnO2、ZnO、Fe2O3、Cr2O3、MgO、NiO2等材料都存在氣敏效應(yīng)。用這些金屬氧物制成的氣敏薄膜是一種阻抗器件,氣體分子和敏感膜之間能交換離子,發(fā)生還原反應(yīng),引起敏感膜電阻的變。作為傳感器還要求這種反應(yīng)必須是可逆的,即為了消除氣體分子還必須發(fā)生一次氧反應(yīng)。傳感器內(nèi)的加熱器有助于氧反應(yīng)進(jìn)程。 氣體傳感器描述氣敏二極管的特性曲線左移可以看作二極管導(dǎo)通電壓發(fā)生改變,這一特性如果發(fā)生在場(chǎng)效應(yīng)管的柵極,將使場(chǎng)效應(yīng)管的閾值電壓UT改變。利用這一原理可以制成MOSFET型氣敏器件。 氫氣敏MOSFET是一種最典型的氣敏器件,它用金屬鈀(Pd)制成鈀柵。在含有氫氣的氣氛中,由于鈀的催作用,氫氣分子分解成氫原子擴(kuò)散到鈀與二氧硅的界面,最終導(dǎo)致MOSFET的閾值電壓UT發(fā)生變。使用時(shí)常將柵漏短接,可以MOSFET工作在飽和區(qū),此時(shí)的漏極電流ID=β(UGS—UT)2,利用這一電路可以測(cè)出氫氣的濃度。 氣體傳感器定做根據(jù)單一的紅外吸收峰位置只能判定氣體分子中有什么基團(tuán),精確判定氣體種類需要看氣體在中紅外區(qū)所有的吸收峰位置即氣體的紅外吸收指紋。但在已知環(huán)境條件下,根據(jù)單一紅外吸收峰的位置可以大致判定氣體的種類。由于在零下273攝氏度即絕對(duì)零度以上的一切物質(zhì)都會(huì)產(chǎn)生紅外幅射,紅外幅射與溫度正相關(guān),因此,同催元件一樣,為消除環(huán)境溫度變引起的紅外幅射的變,紅外氣體傳感器中會(huì)由一對(duì)紅外構(gòu)成。 一個(gè)完整的紅外氣體傳感器由紅外光源、光學(xué)腔體、紅外和信號(hào)調(diào)理電路構(gòu)成。 |
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