氣體傳感器介紹

選擇性是氣體傳感器的關鍵性能。如SnO2薄膜對多種氣體都敏感，如何提高SnO2氣敏器件的選擇性和靈敏度一直是研究的重點。主要措施有：在基體材料中加入不同的或金屬氧物催劑，設置合適的工作溫度，利用過濾設備或透氣膜外過濾敏感氣體。

氣體傳感器規格

非電阻型也是一類較為常見的半導體氣敏器件，這類器件使用方便，無需設置工作溫度，易于集成，得到了廣泛應用。主要有結型和MOSFET型兩種。

結型氣敏傳感器件又稱氣敏二極管，這類氣敏器件是利用氣體改變二極管的整流特性來工作的。其結構如下圖左圖所示。它的原理是：Pd對氫氣具有選擇性，它與半導體接觸形成接觸勢壘。當二極管加正向偏壓時，從半導體流向金屬的電子將增加，因此正向是導通的。

氣體傳感器描述

同體電解質在高溫下才會有明顯的導電性。氧鋯(ZrO2)是典型的氣體傳感器的材料。純正的氧鋯在常溫下是單斜晶結構，當溫度升到1000℃左右時就會發生同質異晶轉變，由單斜晶結構變為多晶結構，并伴隨體積收縮和吸熱反應，因此是不穩定結構。在ZrO2中摻入穩定劑如：堿土氧鈣CaO或稀土氧釔Y2O3，使其成為穩定的熒石立方晶體，穩定程度與穩定劑的濃度有關。