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采用UV光解工藝對單一的有機廢氣物質或惡臭氣體物質嚴格控制進氣濃度、氣量及其他條件時，UV光解設備功率充足的情況下，測得UV光解凈化效率均可達到99%以上

凈化效果：

采用UV光解工藝對單一的有機廢氣物質或惡臭氣體物質嚴格控制進氣濃度、氣量及其他條件時，UV光解設備功率充足的情況下，測得UV光解凈化效率均可達到99%以上。但實際運用過程中，由于受到各種因素或者條件的影響，如廢氣成分復雜，廢氣濃度不穩定或者不能達到UV光解較適中的范圍（濃度過高或過低均會影響其凈化去除率），風量、氣壓、溫度、濕度等環境條件不穩定或者達不到UV光解凈化的要求，廢氣預處理做的不夠理想，后續排放管道沒有留夠充足的氧化反應管道等等，導致UV光解的凈化效率參差不齊，差異很大，甚至在滿足所有外在條件的基礎上，處理不同成分的廢氣其凈化效率也有差別。所以很難單純的去界定一套UV光解凈化設備對廢氣的凈化去除率，我們只能說盡量的去調整影響UV光解凈化設備凈化率的各種因素，盡量的去提高UV光解凈化工藝的凈化效率。在各種因素都比較適宜的條件下，UV光解凈化系統在實際運用中是可以達到90%以上的，甚至某些成分的廢氣其凈化效率可以達到95%以上甚至更高。