*平面平晶是以光波干涉原理為基礎(chǔ)，利用平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來測量被測量面的平面度。
*平面平晶用于檢定量塊的研合性和平面度以儀器和量具的測量面、工作面的平面度。亦可用于檢定高精度的平面零件，例如，平面光學(xué)零件**平臺、平板、導(dǎo)軌、密封件等。平面平晶特別適用于計(jì)量單位、實(shí)驗(yàn)室作為標(biāo)準(zhǔn)平面和樣板。 <\/p>平面平晶的技術(shù)參數(shù)（備注：特殊規(guī)格、特殊材料平晶可定做<\/span>）<\/td><\/tr><\/tbody><\/table>| 平面直徑d(mm)<\/td> | 基本參數(shù)<\/td><\/tr> | | 1級<\/td> | 2級<\/td><\/tr> | | d范圍內(nèi)<\/td> | 2/3d范圍內(nèi)<\/td> | d范圍內(nèi)<\/td> | 2/3d范圍內(nèi)<\/td><\/tr> | 30
45
60<\/td> | 0.03<\/td> | ----<\/td> | 0.1<\/td> | 0.05<\/td><\/tr> | 80
100
150<\/td> | 0.05<\/td> | 0.03<\/td><\/tr> | 200
250
300<\/td> | 0.08
0.1
0.15<\/td> | 0.05
0.05
0.09<\/td> | 0.12
0.15
0.2<\/td> | 0.06
0.08
0.1<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/p>
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