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經常使用的活性催化劑是鉑或鈀的化合物，使用陶瓷作載體。使用催化劑可降低燃燒溫度，節省運行費用，但是主要缺點是微量的硫和鉛的化合物會使催化劑中毒，而且特定的催化劑對每種有機污染物起到催化燃燒的作用是不同的，對有些有機污染物的去除可能無效。

3、在燃燒工藝中，為了節省能源，一般對燃燒使用或產生的熱量進行利用

利用方式包括換熱和回熱兩種。換熱方式是利用換熱器在燃燒后產生的高溫氣體和低溫氣體（進氣或其他需要熱源的氣流）之間進行換熱能量傳遞，回熱方式是利用蓄熱裝置直接和氣流進行交替熱交換，因此熱量利用的效率更高。不同的燃燒工藝組合，形成4種基本的燃燒工藝方式：催化燃燒（換熱），直接燃燒（換熱），回熱催化燃燒（RCO），回熱燃燒（RTO）。在此基礎上還形成了轉輪富集燃燒，陶瓷過濾器等方式。

蜂窩轉輪吸附+催化燃燒處理技術是20世紀70年代由日本發明的一種有機廢氣處理系統，吸附裝置是用分子篩、活性碳纖維或含碳材料制備的瓦楞型紙板組裝起來的蜂窩轉輪，吸附與脫附氣流的流向相反，兩個過程同時進行。這種系統在20世紀80年代初被我國引進和仿制，但由于吸附元件（蜂窩轉輪）以及系統關鍵部位連接技術都不過關，吸附與脫附的竄風問題未得到根本解決，設備性能不穩定，因此國內應用較少，一直未能得到推廣。

20世紀80年代末研制設計了固定床吸附+催化燃燒處理系統。該系統是將吸附材料裝填在固定床中，再將吸附床與催化燃燒裝置組合成凈化處理系統。該工藝系統的原理與上述蜂窩轉輪吸附+催化燃燒技術基本相同，但由于單件吸附床的吸附與脫附再生過程分開進行，在操作上克服了蜂窩轉輪凈化系統吸、脫附易串氣的缺點。經不斷改進，系統配置更加合理，凈化效率高，運行節能效果顯著，在技術上達到先進水平。該工藝系統非常適合處理大氣體量、低濃度的VOCs廢氣，其單套系統的廢氣處理量可以從幾千m3/h到十幾萬m3/h。該技術是我國真正自主創新的VOCs廢氣治理工藝，自1989年在國內推廣，到目前已有數百套該類系統與裝置在使用。已經成為國內工業VOCs廢氣治理的產品之一，并預計在未來仍將有很大的應用前景。

利用催化燃燒法進行工業有機廢氣治理，已普遍應用于汽車噴涂、磁帶制造和零部件噴涂等。催化燃燒技術將揮發出來的大量有機溶劑充分燃燒。催化劑采用多孔陶瓷載體催化劑，催化前的預熱溫度視VOCs種類而不同：聚氨酯380℃～480℃，聚酯亞480℃～580℃；有機物濃度約1600mg/m3，凈化效率平均為99%。