利用高能高臭氧紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對有機氣體及其它性異味有立竿見影的效果。有機性氣體利用排風設備輸入到本凈化設備后，運用高能紫外線光束及臭氧對有機（異味）氣體進行協同分解氧化反應，使有機氣體物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。
TiO2光催化的催化化性在很大程度上影響光催光反應速率，而TiO2光催光活性主要受TiO2的晶型和粒徑的影響。銳鈦型TiO2的催化活性高。隨著粒徑的減少，電子與空穴簡單復合的概率降低，光催化活性增大。另外，孔隙率、平均孔徑、粒子表面狀態，純度等對其光催化活性也均有一定影響。為了提高光降解效率，對TiO2光催化劑進化改性，如研制納米TiO2，制備TiO2的復合半導體，金屬離子摻雜、染料光敏化等。也可以采用各種先進的手段制備TiO2催化劑，以提高光催化劑的活性。
.常用廢氣處理工藝的簡介光氧催化氧化利用的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，與臭氧進行反應生成低分子化合物，如CO2、H2O等。投資費用低，適用范圍廣，凈化效率高，操作簡單，除臭效果好，設備運行，小，運行費用低，隨用隨開，不會造成二次污染。
并具有以下特點：1、惡臭氣體進入到裝有特殊頻段的高效紫外線燈管的UV高效光解氧化模塊的反應腔后，高能UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳。2、利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。臭氧對紫外線光束照射分解后的有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它性異味有良好的效果。3、利用高能UV光束裂解惡臭氣體中的分子鍵，破壞的，再通過臭氧進行氧化反應，徹底達到脫臭及殺滅的目的。4、本模塊無任何機械裝置，無運動噪音，無需專人管理和日常維護，只需作定期檢查維護，維護和能耗低，幾乎沒有風阻，相對可節約大量排風動力能耗。因采用光解原理，模塊采取隔處理，不存在安全隱患，防火、防、防腐蝕性能高，設備性能安全穩定，更加適用于高濕度、高濃度易燃易廢氣的場合。二、光催化過濾氧化技術及處理模塊光催化技術是一種利用新型的復合納米高科技功能材料的技術，也是普遍應用于很多空氣凈化的技術。光催化劑納米粒子在一定波長的光線照射下受激生成電子—空穴對，空穴分解催化劑表面吸附的水產生氫氧自由基，電子使其周圍的氧還原成活性離子氧，從而具備極強的氧化—還原作用，將光催化劑表面的各種污染物摧毀，從而在空氣凈化效果。
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