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催化燃燒設備根據廢氣預熱方式及富集方式，催化燃燒工藝流程可分為3種。
1、吸附-催化燃燒：當有機廢氣的流量非常高的時候，采用催化燃燒需消耗大量燃料時，可先采用吸附手段將有機廢氣吸附于吸附劑表明進行濃縮，然后通過熱空氣吹掃，使廢氣脫附成高濃度的有機廢氣，再進行催化燃燒。
2、預熱：預熱是催化燃燒的基本條件。有機廢氣溫度在100℃以下，濃度也較低，熱量不能自給，因此在進入反應器前需要在預熱室加熱升溫，燃燒凈化后氣體在熱交換器內與未處理廢氣進行熱交換，以回收部分熱量。該工藝通常采用煤氣或電加熱升溫至催化反應所需的起燃溫度。
3、熱平衡：當有機廢氣排出時溫度較高（在300℃左右），高于起燃溫度，且有機物含量較高，熱交換器回收部分凈化氣體所產生的熱量，在正常操作下能夠維持熱平衡，無需補充熱量，通常只需要在催化燃燒反應器中設置電加熱器供起燃時使用。
催化燃燒設備優點
(1)吸附床氣流層分布均勻、穩定、壓降小,吸附性能好。本工藝采用吸附性能好、氣流阻力小的蜂窩狀活性炭，應用于大風量有機廢氣的治理，不僅能滿足吸附凈化的要求，而且使吸附裝置小型化、阻力低，用中、低壓風機就能滿足排風要求，降低了能耗和噪音污染。
(2)利用余熱，節能顯著。 通過蜂窩狀活性炭的吸附濃縮作用，將大風量、低濃度的有機廢氣轉換成小風量、高濃度的有機廢氣,后者濃度可達0.9-1.5g/m3,可在催化燃燒床上保持穩定的自燃燒狀態，轉變成無害的似和H20，一次啟動后無需外加熱，燃燒后的熱廢氣又用于對蜂窩狀活性炭的脫附再生，達到了廢熱利用、有機物處理徹底的目的。
(3)處理風量范圍大。 處理風量由每小時數千立方米到數十萬立方米，具有凈化效率高、無二次污染、運行成本低等優點。

隨著環保法規和環保市場的日益成熟，環保變的越來越精細化、規范化。環保業從最初的“有設備”階段演變為現在的“有效果”階段。也就是說不光要有環保設備，而且還要達到環保標準。這就使環保市場從最初的UV光氧催化設備、活性炭吸附箱等會逐漸過渡到RCO和RTO的技術上。

理論上催化燃燒設備可以達到99%以上的凈化率。查閱文獻數據通常會得到如下的反應溫度（催化溫度）與轉化率（凈化率）的關系。

但是在催化燃燒設備選擇上：

1、如果催化劑選擇不合理；

2、催化劑溫度偏低；

3、氣流分布不合理（或短路）。

就會出現VOCs的凈化率下降。這不是催化劑的問題，而是設備本身的問題。如果催化燃燒設備的凈化率只有95%，那么3000mg/m3濃度的VOCs有機廢氣，經過催化燃燒反應就無法達標，那相應的就要加設一臺環保設備，以處理催化燃燒設備剩下的5%

催化燃燒設備要最大的發揮催化劑的性能，催化劑是催化燃燒的核心。

只有選擇高性能催化劑和高性能的設備，才能使催化燃燒設備達到高效處理VOCs。