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UV光氧催化設備也稱為光氧催化廢氣凈化器，UV光氧凈化器任何不好的影響，超越了傳統的臭氧等空氣凈化器，能在有人在場的環境中持續滅菌、除塵，對不好的效用。能廣譜地截獲殺滅空氣中的各類細菌、黑色變種芽孢及自然菌殺滅率達99.9％以上，管用去除可吸入顆粒，到達1-10萬級清潔度。UV光氧催化設備用于：工業煙霧、汽車、家具、玩具、家電、自行車等噴漆廢氣，印刷廠，制鞋粘膠各類工業VOC類有機廢氣、除臭除味凈化解決。

(1)廢氣濃度的影響

UV光催化治理VOCs適合的應用范圍主要包括噴涂車間、印刷、電子、制藥、食品等行業產生的低濃度有機廢氣，對于20.200PPM以下的濃度效果較好，隨著VOCs濃度增高，降解效率也會隨之降低。目前廣泛采用的是185nm和254nm兩個波段的真空紫外燈，這是由于真空紫外燈發射的紫外線能量強度有限，單位時間內光解能量不足，效率下降。所以單純的增加燈管的數量是無法解決高濃度有機氣體問題，紫外光解技術不適合中高濃度VOCs氣體。

(2)相對濕度低的影響

對于一定的濕度條件下，氧氣吸收了大部分185nm紫外光，但是隨著濕度的進一步增加，一部分是水蒸氣與氧氣競爭吸收185nm波長的紫外光，水蒸氣吸收了更多的185nm紫外光，同時產生更多羥基自由基。水蒸氣與活性氧反應生成羥基自由基，羥基自由基的氧化性要強于臭氧和活性氧，從而光解的速度明顯加快，促進單位時間內對于廢氣去除率的增加，相對濕度在30—65%這個范圍，光解效率是上升的，相對濕度超過70%后隨之逐漸下降。

(3)風速和絕對濕度差的影響

風速越大，水蒸氣進出口的絕對濕度差越小，也就是說風速越大，羥基自由基產生量的絕對值也會越少。因此在風速小的工況下，羥基自由基對揮發性有機物VOCs的貢獻大，風速大的工況下，羥基自由基對有機物降解的作用就會變得十分有限，在低濃度下，延長停留時間并不能等效的增加廢氣去除效率。

(4)光源的選擇和影響

一般選擇185rim和254nm兩個波段的真空紫外燈。真空紫外設備進口的風速影響了紫外燈的燈管表面溫度，燈管表面溫度與紫外燈的發光效率有直接關系，燈表溫高于某一數值時會直接影響其發光效率。臭氧協同真空紫外光對很多有機廢氣是有降解效果的。254nm的紫外光可以促進臭氧產生氧自由基，從而氧化廢氣分子，臭氧在真空紫外條件下與空氣中的水蒸氣可產生羥基自由基，羥基自由基可氧化等廢氣。

(5)合理的設備空間布局和結構

目前UV光催化治理VOCs設備的自動化程度低，基本還沒有自動檢測和監控功能，所以對產品的整體效果不能夠進行有效的效率評估。要合理的處理好催化劑的布置、數量，要準確處理好透光性和氣體的流速，要進行合理的能量匹配和結構優化。