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設備利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解廢氣，如：氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、的分子鍵，使呈游離狀態的污染物分子
設備利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解廢氣，如：氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、的分子鍵，使呈游離狀態的污染物分子與臭氧氧化結合成小分子無害或低害的化合物，如CO2、H2O等。
利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。
UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體、有機廢氣及其它刺激性異味有立竿見影的清除效果。
廢氣利用排風設備輸入到本凈化設備后，凈化設備運用高能UV紫外線光束及臭氧對廢氣進行協同分解氧化反應，使廢氣降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。