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利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對工業廢氣及其它刺激性異味有立竿見影的清除效果。工業廢氣利用排風設備輸入到本凈化設備后，凈化設備運用高能UV紫外線光束及臭氧對工業廢氣進行協同分解氧化反應，使工業廢氣降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。

利用高能 UV 光束裂解工業廢氣中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（ DNA ），再通過臭氧進行氧化反應，徹底達到凈化及殺滅細菌的目的。從凈化空氣效率考慮，我們選擇了 -C 波段紫外線和臭氧結合電暈電流較高化裝置，采用脈沖電暈吸附技術相結合的原理對有害氣體進行消除，其中 -C 波段紫外線主要用來去除硫化氫、氨、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、乙酸乙酯、乙烷、丙酮、尿烷等氣體，使有機物轉變為無機物。