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光氧催化雖然是一個遠景非常好的技術，可是也避免不了像的技術一樣產生廢氣，光氧催化產生的廢氣其實不難處理，只要光氧催化設備的細節把握好，那么光氧催化的廢氣處理就不難了。?光氧催化發生的廢氣采用光氧催化廢氣凈化設備的廢氣處理系統就可以完美的處理了。光氧催化的廢氣凈化設備包括廢氣搜集設備和新風彌補設備。這兩個光氧催化的設備準備好后，還要有二氧化鈦光觸媒系統加速反應速率。

UV光氧催化廢氣治理設備中對有機揮發性廢氣首要進行光解與催化氧化。光解首要是通過高能UV紫外線對空氣中的氧氣產生分化作用，推進氧分子分化變成游離態的氧，因為游離態氧上的正負電子處于不平衡狀態，因而游離態氧極易與氧分子結合生成臭氧，而臭氧的強氧化作用可以推進有機揮發性廢氣的分化。在UV高效設備內安裝著紫外線放電管，紫外線放電管發生的光子具有很高的能量，高能量的光子能可以迅速裂解小于該能量的有機揮發性廢氣的分子鍵，使其轉變為無機小分子物質。來達到廢氣凈化的目的。

低溫等離子除臭技術是在電場的加速作用下，產生高能電子，當電子平均能量超過目標治理物分子化學鍵能時，分子鍵斷裂，達到氣態污染物的目的。提出的高壓脈沖電暈放電法是常溫常壓下得到低溫等離子體的最簡單、最有效的方法。它已成為目前的研究前沿，也正越來越多的用于氣態污染物的治理。等離子化學反應過程中，等離子傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下

從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原

子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。

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