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二維材料設備CVD系統
二維材料設備CVD系統 價格:55500  元(人民幣) 產地:安徽合肥市
最少起訂量:1 發貨地:合肥
上架時間:2018-06-06 11:06:31 瀏覽量:1225
安徽貝意克設備技術有限公司  
經營模式:生產加工 公司類型:其他有限責任公司
所屬行業:熱處理設備 主要客戶:高等院校及科研院所
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聯系方式

聯系人:李曉麗 (小姐) 手機:17354094989
電話: 傳真:
郵箱:1085847693@qq.com 地址:安徽省合肥市科學大道110號

詳細介紹

此款CVD系統前端配有可加熱到400℃的預加熱器,輔助二維材料蒸發,后端為溫區管式爐,溫度控制精確,操作簡便。并配質量流量計系統和真空系統,可以準確的反應腔體內部的氣體壓力和氣體流量,對于做低壓CVD實驗非常實用,重復性好

硫粉預熱器

工作溫度:400℃

最高溫度:1200℃

最快升溫速率:≤30℃/min

推薦升溫速率:10℃/min

控溫方式:智能化30段可編程控制

工作電壓:AC220V

額定功率:800W

控溫精度:±1℃

加熱元件:電阻絲

 

 

 

 

 

 

 

 

 

加熱區參數:

 

額定功率:5kw

最高溫度:1200℃

工作溫度:1100℃

最大升降溫速率:≤30℃/min

爐管尺寸:高純度石英管Φ25\Φ50\Φ60\Φ80\Φ100X1650mm  (管徑可選)

加熱區長度:200+200mm  

恒溫區長度:290mm

控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能。

標準配件:石英管1支,莫來石管堵2對,不銹鋼法蘭1套,硅膠密封圈2套,高溫手套1副,坩堝鉤1支;

尺寸:約 550×380×600 mm(爐子)

約:1700×380×620 mm(爐子+滑軌)

可選配單溫區、雙溫區、三溫區等加熱區。

 

 

 

 

 

 

 

氣路系統參數:

 

質量流量計參考量程(N2)100sccm200sccm500sccm (量程可選)

準確度:±1.5%

線性:±0.51.5%

重復精度:±0.2%

響應時間:氣特性:14 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍:0.10.5 MPa

最大壓力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

顯示:4位數字顯示

工作環境溫度:5~45高純氣體             

內外雙拋不銹鋼管:Φ6

壓力真空表:-0.10.15 MPa, 0.01 MPa/

截止閥:Φ6

連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。

可選配一路、兩路、三路、四路等以上質量流量計。

 

 

 

 

 

 

 

低真空系統參數:

 

國產油泵型號:BSV-10

抽速:10m?/h

極限真空度:5*10-1pa

電源:220v 50hz

電機功率:0.4kw  

進排氣連接口:KF25

用油量:1.1L

電機轉速:1440rpm

工作環境溫度:5-40℃

噪音:≤56db

電阻真空計參數:

1.配用規管:ZJ-52T電阻規,

2.測量范圍: 10 5 ~10 -1 Pa,

3.測量路數: 1路

4.控制范圍: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

5.控制方式:繼電器觸點輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載,

6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

7.功耗: 20W

 

 

 

 使用注意事項

 

 

 

 

 

 

  • 爐管內氣壓不可高于0.02MPa 。  
  • 當爐體溫度高于1000時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的 氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。
  •  石英管的長時間使用溫度<1100℃。
  •  對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。

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