Honeywell霍尼韋爾氣體探測器MIDAS-L-O2S
Midas有毒及可燃氣體探測器
高性價比有毒及可燃氣體探測器，采用智能電化學傳感器，多種標準信號輸出
Midas是用于半導體工業及一般工業場所的高靈敏度，高可靠性有毒及可燃氣體探測器。
長達兩年的傳感器校準周期，靈活的通訊模式以及傳感器自診斷功能和流量自動控制的專利，
Midas可最大程度降低氣體探測器的運行成本。
可探測氣體：
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氣體名稱
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化學式
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范圍
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氨
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NH3
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0-100ppm
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氫化砷
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AsH3
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0-0.2ppm
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三氯化硼
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BCl3
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0-8.0ppm
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三氟化硼
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BF3
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0-8.0ppm
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三氟化硼（低濃度的）
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BF3
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0-2.0ppm
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溴
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Br2
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0-0.4ppm
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二氧化碳
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CO2
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0-2% vol
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一氧化碳
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CO
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0-100ppm
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氯
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Cl2
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0-2.0ppm
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二氧化氯
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ClO2
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0-0.4ppm
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三氟化氯
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ClF3
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0-0.4ppm
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硼乙烷
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B2H6
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0-0.4ppm
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二氯甲硅烷
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H2SiCl2
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0-8.0ppm
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二氟甲烷
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CH2F2
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0-120ppm
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乙硅烷
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Si2H6
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0-20ppm
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氟
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F2
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0-4.0ppm
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鍺烷
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GeH4
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0-0.8ppm
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六氟丁乙烯
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C4F6
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0-40ppm
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氫（%爆炸下限（LEL））
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H2
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0-100% LEL
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氫（ppm）
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H2
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0-1000ppm
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溴化氫
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HBr
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0-8.0ppm
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氯化氫
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HCl
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0-8.0ppm
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氰化氫
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HCN
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0-20ppm
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氟化氫
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HF
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0-12ppm
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氟化氫（低濃度的）
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HF
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0-2.0ppm
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硫化氫
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H2S
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0-40ppm
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硫化氫（高濃度的）
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H2S
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0-100ppm
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甲烷（%爆炸下限（LEL））
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CH4
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0-100% LEL
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甲基氟
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CH3F
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0-60ppm
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二氧化氮
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NO2
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0-12ppm
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一氧化氮
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NO
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0-100ppm
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三氟化氮
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NF3
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0-40ppm
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八氟環戊烯
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C5F8
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0-40ppm
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氧氣能力&缺氧
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O2
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0-25% vol
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臭氧
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O3
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0-0.4ppm
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磷化氫
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PH3
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0-1.2ppm
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氫氧化磷
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POH3
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0-0.4ppm
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硅烷
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SiH4
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0-20ppm
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硅烷（低濃度的）
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SiH4
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0-2.0ppm
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二氧化硫
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SO2
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0-8.0ppm
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六氟化硫
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SF6
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0-8000pm
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四氟化硫
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SF4
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0-0.4ppm
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正硅酸乙酯
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TEOS
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0-40ppm
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六氟化鎢
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WF6
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0-12ppm
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六氟化鎢（低濃度的）
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WF6
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0-2.0ppm
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Midas氣體偵測器傳感器選型：
Midas Cartridge Detectable Gases
Gas Name Chemical Formula Range Sensor Part Number
Ammonia NH3 9-100 ppm MIDAS-E-NH3
Arsine AsH3 18-200 ppb MIDAS-E-ASH
Boron Trichloride BCl3 0.72-8 ppm MIDAS-E-HCL
Boron Trifluoride BF3 0.72-8 ppm MIDAS-E-HFX
Boron Trifluoride (Low Level) BF3 0.18-2 ppm MIDAS-E-HFL
Bromine Br2 0.036-0.4 ppm MIDAS-E-BR2
Carbon Dioxide CO2 0.15-2.0% MIDAS-E-CO2
Carbon Monoxide CO 9-100 ppm MIDAS-E-COX
Chlorine Cl2 0.18-2 ppm MIDAS-E-HAL
Chlorine Dioxide ClO2 0.036-0.4 ppm MIDAS-E-BR2
Diborane B2
H6 36-400 ppb MIDAS-E-B2H
Dichlorosilane H2
Cl2
Si 0.72-8 ppm MIDAS-E-HCL
Difluoromethane** CH2
F2 16-240 ppm MIDAS-E-XCF
Disilane Si2
H6 1.8-20 ppm MIDAS-E-SHX
Fluorine F2 0.36-4 ppm MIDAS-E-HAL
Germane GeH4 70-800 ppb MIDAS-E-ASH
Hexafluorobutadiene** C4
F6 3-40 ppm MIDAS-E-CFX
Hydrogen (%LEL) H2 6.5-100% LEL MIDAS-E-LEL*
Hydrogen (ppm) H2 90-1000 ppm MIDAS-E-H2X
Hydrogen Bromide HBr 0.72-8 ppm MIDAS-E-HCL
Hydrogen Chloride HCl 0.72-8 ppm MIDAS-E-HCL
Hydrogen Cyanide HCN 1.8-20 ppm MIDAS-E-HCN
Hydrogen Fluoride HF 1.05-12 ppm MIDAS-E-HFX
Hydrogen Fluoride (Low Level) HFL 0.18-2 ppm MIDAS-E-HFL
Hydrogen Sulfide H2
S 3.6-40 ppm MIDAS-E-H2S
Methane (%LEL) CH4 6.5-100% LEL MIDAS-E-LEL*
Methyl Fluoride** CH3
F 8-120 ppm MIDAS-E-XHF
Nitric Oxide NO 9-100 ppm MIDAS-E-NOX
Nitrogen Dioxide NO2 1.05-12 ppm MIDAS-E-NO2
Nitrogen Trifluoride** NF3 3.6-40 ppm MIDAS-E-HFX for 00P, XHF for NP1
Octofluorocyclopentene** C5
F8 3-40 ppm MIDAS-E-XCF
Oxygen O2 0.2-25% v/v MIDAS-E-O2X
Ozone O3 0.065-0.7 ppm MIDAS-E-O3H
Ozone (Low Level) O3 0.036-0.4 ppm MIDAS-E-O3X
Phosphine PH3 110-1200 ppb MIDAS-E-PH3
Silane SiH4 1.8-20 ppm MIDAS-E-SHX
Silane (Low Level) SiH4 0.18-2 ppm MIDAS-E-SHL
Sulfur Dioxide SO2 0.7-8 ppm MIDAS-E-SO2
Tetra Ethyl Ortho Silicate TEOS 3.6-40 ppm MIDAS-E-TEO
Tungsten Hexafluoride WF6 1.05-12 ppm MIDAS-E-HFX
Tungsten Hexafluoride (Low Level) WF6 0.18-2 ppm MIDAS-E-HFL
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主營：Honeywell霍尼韋爾氣體探測，Micro Motion艾默生高準質量流量計，羅斯蒙特變送器，霍尼韋爾控制系統與集成,燃燒控制產品,環境自控,閥門執行器、開關等。
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