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光氧凈化器系統的工作過程是：首先啟動燃燒器將蓄熱體行預熱到一定的溫度，然后關閉燃燒器，將有機廢氣通入蓄熱氧化裝置。系統正常運行時的*個狀態是有機廢氣吸收蓄熱體A的熱量而升溫至VOCs的氧化溫度以上，并在燃燒室內充分氧化，再流過蓄熱體B，將熱量傳遞給蓄熱體B后排出，從而去除廢氣中的VOCs并顯著降低尾氣排放的溫度及尾氣帶走的熱量。在此過程中，蓄熱體A的溫度逐漸降低，蓄熱體B的溫度逐漸升高。

只要設備散熱損失和尾氣排放熱損失之和與有機廢氣氧化放熱量平衡，系統就可以維持反應所需的溫度水平，連續穩定地工作。

經過一個周期的時間后，切換閥門，系統進入第二個狀態，即有機廢氣進入蓄熱體B吸熱、升溫和氧化，再通過蓄熱體A放熱、降溫并排出，再下一個周期中，系統又切換到*個運行狀態，如此循環往復。

可見，蓄熱氧化技術的基本原理是使用蓄熱體從排出燃燒區的氣體中吸收并且存儲熱量，在流向切換后釋放所蓄積的熱量預熱進入蓄熱氧化裝置的有機廢氣，使有機廢氣達到所需的氧化溫度，在少用或者不用輔助燃料的條件下連續運行，降低系統能耗和運行成本。

該技術一般適用于處理大風量、VOCs濃度范圍在2～8g/m3的有機廢氣，對于低熱值氣體濃度可達12g/m3;當VOCs濃度在2g/m3以上時，RTO裝置基本不需添加輔助燃料。

它的突出優點是可得到高達99%的處理效率，同時得到95%以上的熱回收效率，能耗水平低，自動化程度高，操作簡單，運行穩定，安全可靠。