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新鄉(xiāng)高效空氣過(guò)濾器檢漏,高效空氣過(guò)濾器檢測(cè),高效過(guò)濾器--高效空氣過(guò)濾器在檢測(cè)中DOP檢漏法的應(yīng)用，對(duì)企業(yè)來(lái)講，高效過(guò)濾器檢漏主要是現(xiàn)場(chǎng)檢漏，通過(guò)DOP法發(fā)現(xiàn)濾器本身及運(yùn)輸、安裝過(guò)程中可能存在的問(wèn)題。常使用氣溶膠光度計(jì)及多發(fā)散氣溶膠，因其比單分散氣溶膠來(lái)得經(jīng)濟(jì)方便并能滿足要求。美國(guó)IEST-RP-CC034規(guī)定C D級(jí)高效過(guò)濾器現(xiàn)場(chǎng)檢漏透過(guò)率0.3um，光度計(jì)掃描檢漏法）為0.01。歐盟EN1822規(guī)定檢漏測(cè)試只要被測(cè)過(guò)濾器的局部透過(guò)率不超過(guò)規(guī)定的局部值便為合格，H13 級(jí)高效過(guò)濾器對(duì)應(yīng)的局部透過(guò)率為0.25，但要注意這里的透過(guò)率是以0.3um 單分散相DOP測(cè)試得出的。我國(guó)在“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范GB50073-2001及高效空氣過(guò)濾器GB13554-92”中關(guān)于已安裝過(guò)濾器的泄漏測(cè)試，規(guī)定使用大氣塵或其它氣溶膠，采用粒子計(jì)數(shù)器測(cè)得泄漏濃度，對(duì)于高效過(guò)濾器，穿透率不應(yīng)大于過(guò)濾器出廠合格穿透率的2 倍。

問(wèn)題討論

新鄉(xiāng)高效過(guò)濾器效率與檢漏

高效過(guò)濾器過(guò)濾效率是指的濾器本身的效率，隨執(zhí)行的標(biāo)準(zhǔn)及測(cè)試方法不同而異。當(dāng)前對(duì)高效過(guò)濾器效率的測(cè)試方法有：DOP法，以光度計(jì)檢測(cè)，不如粒子計(jì)數(shù)法靈敏，有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)可見(jiàn)美國(guó)IEST-RP-CC001；粒子計(jì)數(shù)法，以粒子計(jì)數(shù)器作為檢測(cè)儀器，使用單分散或多分散氣溶膠，靈敏度高，多用于超高效過(guò)濾器， 相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)可見(jiàn)IEST-RP-CC007;最易穿透粒徑法（MPPS），采用粒子計(jì)數(shù)器作為檢測(cè)儀器，使用的氣溶膠同前，此法是歐盟EN1822 標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定，與粒子計(jì)數(shù)法的區(qū)別是，以過(guò)濾器最易穿透的粒徑作為測(cè)試用粒徑；鈉焰法，此法采用火焰光度計(jì)，對(duì)NaCL燃燒的火焰色度作響應(yīng)，相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)見(jiàn)我國(guó)“高效空氣過(guò)濾器 GB13554-92”，靈敏度低，且NaCl對(duì)微電子產(chǎn)品質(zhì)量有害，國(guó)外已不用。

新鄉(xiāng)氣溶膠光度計(jì)與粒子計(jì)數(shù)器

高效過(guò)濾器過(guò)濾效率是指的濾器本身的效率，隨執(zhí)行的標(biāo)準(zhǔn)及測(cè)試方法不同而異。當(dāng)前對(duì)高效過(guò)濾器效率的測(cè)試方法有：DOP法，以光度計(jì)檢測(cè)，不如粒子計(jì)數(shù)法靈敏，有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)可見(jiàn)美國(guó)IEST-RP-CC001；粒子計(jì)數(shù)法，以粒子計(jì)數(shù)器作為檢測(cè)儀器，使用單分散或多分散氣溶膠，靈敏度高，多用于超高效過(guò)濾器， 相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)可見(jiàn)IEST-RP-CC007;最易穿透粒徑法（MPPS），采用粒子計(jì)數(shù)器作為檢測(cè)儀器，使用的氣溶膠同前，此法是歐盟EN1822 標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定，與粒子計(jì)數(shù)法的區(qū)別是，以過(guò)濾器最易穿透的粒徑作為測(cè)試用粒徑；鈉焰法，此法采用火焰光度計(jì)，對(duì)NaCL燃燒的火焰色度作響應(yīng)，相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)見(jiàn)我國(guó)“高效空氣過(guò)濾器 GB13554-92”，靈敏度低，且NaCl對(duì)微電子產(chǎn)品質(zhì)量有害，國(guó)外已不用。

新鄉(xiāng)氣溶膠光度計(jì)與粒子計(jì)數(shù)器

在檢漏結(jié)果的判定上，不同的標(biāo)準(zhǔn)也有所差異。美國(guó)IEST-RP-CC034規(guī)定C D級(jí)高效過(guò)濾器現(xiàn)場(chǎng)檢漏透過(guò)率0.3um，光度計(jì)掃描檢漏法）為0.01。歐盟EN1822規(guī)定檢漏測(cè)試只要被測(cè)過(guò)濾器的局部透過(guò)率不超過(guò)規(guī)定的局部值便為合格，H13 級(jí)高效過(guò)濾器對(duì)應(yīng)的局部透過(guò)率為0.25，但要注意這里的透過(guò)率是以0.3um 單分散相DOP測(cè)試得出的。我國(guó)在“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范GB50073-2001及高效空氣過(guò)濾器GB13554-92”中關(guān)于已安裝過(guò)濾器的泄漏測(cè)試，規(guī)定使用大氣塵或其它氣溶膠，采用粒子計(jì)數(shù)器測(cè)得泄漏濃度，對(duì)于高效過(guò)濾器，穿透率不應(yīng)大于過(guò)濾器出廠合格穿透率的2 倍。對(duì)于企業(yè)HEPA 的檢漏測(cè)試，在實(shí)際測(cè)試中，若有泄漏，光度計(jì)數(shù)值會(huì)明顯升高，易于判斷，高效過(guò)濾器泄漏率標(biāo)準(zhǔn)定為小于等于0.01并不影響實(shí)際泄漏的檢測(cè)。

新鄉(xiāng)高效過(guò)濾器（HEPA）一般是指對(duì)粒徑大于等于0.3um粒子的捕集效率在99.97％ 以上的過(guò)濾器，通常作為潔凈間的末端過(guò)濾裝置，用以提供潔凈的空氣。潔凈實(shí)驗(yàn)室、層流手術(shù)室、醫(yī)藥廠房、電子廠房、超凈臺(tái)、生物安全柜等是否能達(dá)到和保持設(shè)計(jì)的潔凈級(jí)別在一定程度上與高效過(guò)濾器的性能及其安裝有關(guān)。因此對(duì)潔凈間和潔凈設(shè)備的高效過(guò)濾器進(jìn)行檢漏測(cè)試，確保其符合要求，是保證室內(nèi)、柜內(nèi)潔凈環(huán)境的重要手段之一。FDA在無(wú)菌藥品生產(chǎn)指南中也指出在高效過(guò)濾器安裝后應(yīng)進(jìn)行檢漏測(cè)試，以檢查過(guò)濾器密封墊、框架及過(guò)濾器濾材等處的密封性，對(duì)于無(wú)菌生產(chǎn)車間和無(wú)菌實(shí)驗(yàn)室應(yīng)定期進(jìn)行高效過(guò)濾器的檢漏試驗(yàn)。

新鄉(xiāng)高效過(guò)濾器檢漏目的

高效過(guò)濾器本身的過(guò)濾效率一般由生產(chǎn)廠家檢測(cè)，出廠時(shí)附有濾器過(guò)濾效率報(bào)告單和合格證明。對(duì)企業(yè)來(lái)說(shuō)，高效過(guò)濾器檢漏是指高效過(guò)濾器及其系統(tǒng)安裝后的現(xiàn)場(chǎng)檢漏，主要是檢查過(guò)濾器濾材中的小針孔和其他損壞，如框架密封、墊圈密封以及過(guò)濾器構(gòu)架上的漏縫等。檢漏的目的是通過(guò)檢查高效過(guò)濾器及其與安裝框架連接部位等處的密封性，及時(shí)發(fā)現(xiàn)高效過(guò)濾器本身及安裝中存在的缺陷，采取相應(yīng)的補(bǔ)救措施，保證區(qū)域的潔凈度。

檢測(cè)方法

確定高效過(guò)濾器本身及其安裝是否有明顯的滲漏，必須在現(xiàn)場(chǎng)對(duì)以下幾處進(jìn)行測(cè)試：過(guò)濾器的濾材；過(guò)濾器的濾材與其框架內(nèi)部的連接；過(guò)濾器框架的密封墊和過(guò)濾器組支撐框架之間；支撐框架和墻壁或頂棚之間。

DOP檢漏的材料、儀器有：塵源（PAO溶劑）、氣溶膠發(fā)生器、氣溶膠光度計(jì)。

A在待測(cè)HEPA上游一側(cè)引入PAO氣溶膠

對(duì)于HVAC系統(tǒng)中的HEPA, 為使氣溶膠到達(dá)HEPA時(shí)時(shí)的濃度均勻，可將氣溶膠直接從系統(tǒng)風(fēng)機(jī)的負(fù)壓一側(cè)引入，如要從風(fēng)管中引入，則應(yīng)在距HEPA至少10倍風(fēng)管直徑處引入，并盡量減少拐彎（IEST美國(guó)環(huán)境科學(xué)和技術(shù)學(xué)會(huì)）。一般情況下，保持上游氣溶膠達(dá)到要求濃度，且濃度波動(dòng)在一定范圍即可。對(duì)于層流罩、超凈臺(tái)上的HEPA，氣溶膠直接從系統(tǒng)風(fēng)機(jī)的負(fù)壓一側(cè)引入。

B 氣溶膠光度計(jì)初始化、設(shè)定100、0％參比標(biāo)準(zhǔn)值
按照氣溶膠光度計(jì)操作要求進(jìn)行初始化、設(shè)定報(bào)警值。將UPSTREAM采樣管與上游采樣口相連，測(cè)量上游氣溶膠的濃度。按照氣溶膠發(fā)生器操作要求調(diào)節(jié)發(fā)生的氣溶膠濃度，使上游氣溶膠濃度達(dá)到10~20ug/mL。

新鄉(xiāng)掃描檢漏

卸下HEPA的散流板，對(duì)整個(gè)濾器面、濾器與邊框之間、邊框與邊框之間以及邊框與靜壓箱之間的密封進(jìn)行掃描。掃描時(shí)采樣頭距濾器面約1英寸（約2.54cm），掃描速度不超過(guò)5cm/s。掃描按直線來(lái)回往復(fù)地進(jìn)行，線條間應(yīng)重疊