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Futurrex負性厚光刻膠NR5-8000NR26-12000PNR26-25000P
Futurrex負性厚光刻膠NR5-8000NR26-12000PNR26-25000P 價格:1.49  元(人民幣) 產地:上海上海
最少起訂量:1 發貨地:上海上海
上架時間:2025-12-23 11:12:07 瀏覽量:55
武漢邁可諾科技有限公司  
經營模式:代理商 公司類型:私營有限責任公司
所屬行業:實驗室設備/實驗室儀器 主要客戶:高校實驗室科研單位
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郵箱:tchiu@mycroinc.com 地址:武珞路628號亞洲貿易廣場

詳細介紹

產品參數
品牌Futurrex
產品名稱負性厚光刻膠
有效成分含量43
執行標準考慮了職業安全和環境安全
是否進口
用途范圍專為厚膜應用設計的負性光致抗蝕劑,可與波長為365nm的紫外曝光工具兼容,包括晶圓步進機、掃描投影對準器、近距打印機和接觸式打印機。
包裝規格0.5kg
成分環己酮
光源365nm
可售賣地北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆
型號NR5-8000 NR26-12000P NR26-25000P

厚負極抗蝕劑。減法或加法加工

減法加工和模具

加法加工

抵抗

厚度

抵抗

厚度

NR5-8000

5.8μm - 100.0μm

NR26-12000P

10.0μm - 20.0μm

加工溫度< 120°C時,NR5系列抗蝕劑在25°C時可剝離

NR26-25000P

18.0μm - 200μm

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耐溫性= 100°c。

NR26系列抗蝕劑提供增強的粘附力,并且在25°c時易于剝離。

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減法和模具應用:

硅的深度蝕刻,如Bosch工藝、玻璃和聚合物

用于硅樹脂印記的壓花模具


添加劑應用:

用于倒裝芯片封裝、多芯片模塊、MEMS、傳感器、薄膜磁頭


減法和模具應用的特性:

RIE處理和離子銑削中的出色耐高溫性能

在深度蝕刻中的選擇性優于正性抗蝕劑

對380納米以下波長的靈敏度


添加劑應用的特性:

電鍍時附著力極佳

電鍍后使用Futurrex抗蝕劑剝離劑可輕松去除

對380納米以下波長的靈敏度


對生產力的影響:

消除基于溶劑的顯影和基于溶劑的沖洗處理步驟


特征:

對表面拓撲的卓越線寬控制

適用于任何薄膜厚度的直側壁

能夠在一次旋涂中涂覆100微米厚的薄膜

厚膜應用中卓越的分辨率

卓越的感光速度提高了曝光產量

有助于增加RIE/離子銑削中的功率密度,從而提高蝕刻速率和蝕刻產量

負性和正性抗蝕劑使用單一顯影劑

不使用增粘劑


去除抗蝕劑后用NR26-12000P掩模電鍍的銅線圈。

金屬(銅)厚度= 25微米

光刻膠= futur ex NR26-12000 p

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