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日本光弛otfc1800鍍膜機(jī)射頻離子蒸發(fā)電鍍機(jī)雙光電子束真空電鍍膜機(jī)
日本光弛otfc1800鍍膜機(jī)射頻離子蒸發(fā)電鍍機(jī)雙光電子束真空電鍍膜機(jī) 價(jià)格:2.57  元(人民幣) 產(chǎn)地:廣東東莞
最少起訂量:1 發(fā)貨地:廣東東莞
上架時(shí)間:2025-12-15 12:50:05 瀏覽量:25
東莞市宏誠(chéng)光學(xué)制品有限公司  
經(jīng)營(yíng)模式: 公司類型:私營(yíng)有限責(zé)任公司
所屬行業(yè):光學(xué)儀器 主要客戶:
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:李小姐 (小姐) 手機(jī):18025286660
電話: 傳真:
郵箱:234719256@qq.com 地址:東莞茶山黃嶺路62號(hào)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品參數(shù)
品牌光弛
功能自動(dòng)
重量8500kg
離子源23cmRF
達(dá)到壓力7.0×10-5?Pa 以下
排氣時(shí)間20分(大氣壓~1.3×10-3?Pa)
基板溫度350℃
水流量180升\/分以上
電源3相200V
可售賣地全國(guó)
材質(zhì)不銹鋼
型號(hào)otfc1800

  日本光弛otfc1800鍍膜機(jī) 射頻離子蒸發(fā)電鍍機(jī) 雙光電子束真空電鍍膜機(jī)

  機(jī)械特點(diǎn):

  真空室尺寸:Φ600-1800mm

  60點(diǎn)/80點(diǎn)式光學(xué)膜厚監(jiān)控

  使用均勻分布的高離子電流密度的離子源

  搭載雙電子槍,多點(diǎn)和環(huán)型坩堝可鍍100層以上

  利用自動(dòng)蒸鍍控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)蒸鍍過(guò)程

  工件架可選擇鐘罩式或行星式

  排氣系統(tǒng)可選擇擴(kuò)散泵 低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵

  設(shè)備尺寸:

  設(shè)備型號(hào) OTFC-1800CBI/DBI

  真空室SUS304, φ1800mm×1920mm (H)

  工件架φ1600mm

  工件架轉(zhuǎn)速10rpm to 30rpm(可變)

  光學(xué)膜厚控制HOM2-R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀

  波長(zhǎng)范圍:350nm to 1100nm

  反射式或透射式

  石英晶振膜厚計(jì)XTC/3 6點(diǎn)式石英晶體傳感器

  蒸發(fā)源電子槍2套

  離子源23cmRF離子源

  排氣系統(tǒng)機(jī)械泵 2個(gè)擴(kuò)散泵 Polycold(或2個(gè)冷凝泵)

  機(jī)械性能:

  達(dá)到壓力7.0×10-5 Pa以下

  排氣時(shí)間20分(大氣壓~1.3×10-3 Pa)

  基板溫度:350℃

  設(shè)備尺寸約5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H)

  工作條件:

  電源3相, 200V, 50/60Hz,約150kVA

  水流量180升/分以上

  空氣壓力0.5MPa以上

  重量約11200kg

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