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供應ESC氮化鋁靜電卡盤真空燒結VHSgr島津Shimadzu
供應ESC氮化鋁靜電卡盤真空燒結VHSgr島津Shimadzu 價格:450.00  元(人民幣) 產地:江蘇蘇州
最少起訂量:1 發貨地:江蘇蘇州
上架時間:2025-10-25 10:33:44 瀏覽量:24
蘇州倍爾齊科技有限公司  
經營模式:代理商 公司類型:私營獨資企業
所屬行業:電熱設備 主要客戶:高校,研究院所,高端制造企業
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聯系人:寧洪 (先生) 手機:15820412713
電話: 傳真:
郵箱:jxninghong@163.com 地址:蘇州市昆山市開發區富春江路1377號杜昆科創園10樓1008室

詳細介紹

產品參數
品牌島津Shimadzu
保護方式氣氛
功率230KW
使用環境氣氛
額定溫度2000℃
主要用途用于靜電卡盤排膠與燒結
爐膛最高溫度2200°C℃
溫度范圍2200°C
裝載量40KGT
設備名稱靜電卡盤真空燒結
真空度最高1Pa
產品特性真空結爐
是否進口
原產國\/地區日本
加工定制
最大電壓380
產品認證CE
壓力大氣壓
可售賣地全國
型號VHSgr

Shimadzu島津ESC氮化鋁靜電卡盤氮真空燒結VHSgr主要用于PVD、CVD、ETCH等制程部門的半導體設備零部件固定晶圓的靜電卡盤上,適用于靜電卡盤或靜電吸盤的排膠和燒結工序,靜電吸盤--又稱靜電卡盤,是半導體工藝中的硅片夾持工具,被廣泛用于PVD、CVD、ETCH等制程部門。在一些制程的工藝過程中需要固定晶圓,并且維持晶圓背面壓力的恒定。

島津作為日本真空爐專業生產代表廠家,在硬質合金,合金陶瓷,金屬注射成形的生產和研究開大部分的市場份額。經過數十年培育出的技術和成熟的生產工藝,系列化生產的真空爐,可以為用戶提供高質量的產品和服務。在中國,韓國等海外市場,也已擁有眾多的銷售業績,并得到客戶的青睞。?

Shimadzu島津ESC氮化鋁靜電卡盤氮真空燒結VHSgr在氮化鋁陶瓷基板燒結過程中,除了工藝和氣氛影響著產品的性能外,燒結助劑的選擇也尤為重要。在常壓下進行燒結,添加適宜的燒結助劑不僅能夠大大降低能耗,還能夠制備出高性能的AlN陶瓷。研究表明,通過添加一些低熔點的燒結助劑,可以在氮化鋁燒結過程中產生液相,促進氮化鋁坯體的致密燒結。

有效尺寸(mm):400*400*1500

處理量(KG):400

額定溫度(℃):2000

真空度(Pa):7x10~

壓力:大氣壓

加熱電力(kw):230

使用氣體:N2,Ar

脫氣、脫脂、燒結一體化處理

Shimadzu島津ESC氮化鋁靜電卡盤氮真空燒結VHSgr爐內裝有密封箱,使脫脂揮發的氣體不污染爐內壁和隔熱材,全部排出到爐外。










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