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HVC-2700DA鍍膜機設備配置表

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1?機腔????1??臺?HVC-2700DA

2?機械泵????2??臺????韓國MS500AD/VP28K真空泵

3?羅茨泵????2??臺????韓國BM-24A/MS500AD羅茨泵

4?電子?????1??臺?????韓一

5?電子鉗鍋1??套??12穴

6?離子源????2??臺??韓一霍爾源

7?流量計(MFC)2??路????韓一

8?壓控APC1??套????韓一

9?電控箱加熱系統1套下加熱

晶控1臺XTC晶控

PLC 及系統1臺韓一 原裝

10?Poly-Cold冷凍機2臺韓國V-PLUS1000H

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