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MKS真空計E28D.1TDF6D

　　E28F溫度調(diào)節(jié)電容壓力計采用傳感器外殼中的結(jié)構(gòu)，可消除過程副產(chǎn)物沉積在隔膜表面，比較大限度地減少漂移。E28FBaratron?壓力計的溫度控制在100°C，精確到讀數(shù)的0.25，并包含更新的溫度控制電子元件，可提供卓越的長期穩(wěn)定性和可重復性。

　　溫度控制在100°C，讀數(shù)精度高達0.25

　　0至10 VDC模擬輸出與絕對壓力成比例

　　蝕刻擋板傳感器顯著降低了副產(chǎn)物到達傳感器的能力

　　滿量程范圍低至50 mTorr，可實現(xiàn)精確的低壓測量

　　所有Inconel?傳感器耐腐蝕潤濕表面電容式壓力計是可以測量壓力和真空的電子機械壓力表。電容計將薄膜中的壓力調(diào)制運動轉(zhuǎn)換為與壓力成比例的電信號。壓力傳感器是薄膜，其暴露于通過入口管測量的壓力或真空。電極安裝在隔膜后面的參考腔中。過程和參考腔之間的壓力差使膜片略微偏轉(zhuǎn)，改變了它與電極之間的距離。該距離的變化產(chǎn)生隔膜和電極之間的電容變化，產(chǎn)生與壓力變化成比例的電信號。

　　精度指定為讀數(shù)的百分比，而不是滿量程，如某些性能較低的設(shè)備所示。讀數(shù)精度百分比可在壓力范圍較低的范圍內(nèi)為您提供更準確的輸出信號，比較需要的地方。