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二手晶片平坦度儀型號NidekFT-17翹曲度測量儀器日立品牌晶圓片平面測試儀器轉(zhuǎn)讓包培訓(xùn)保修服務(wù)
二手晶片平坦度儀型號NidekFT-17翹曲度測量儀器日立品牌晶圓片平面測試儀器轉(zhuǎn)讓包培訓(xùn)保修服務(wù) 價格:10.00  元(人民幣) 產(chǎn)地:廣東東莞
最少起訂量:1 發(fā)貨地:廣東東莞
上架時間:2025-02-12 06:20:54 瀏覽量:22
東莞市宏誠光學(xué)制品有限公司  
經(jīng)營模式:生產(chǎn)加工 公司類型:其他有限責(zé)任公司
所屬行業(yè):研磨機(jī) 主要客戶:光學(xué)行業(yè)
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聯(lián)系方式

聯(lián)系人:劉慧萍 (先生) 手機(jī):13580815224
電話: 傳真:
郵箱:2789038952@qq.com 地址:東莞市茶山鎮(zhèn)增埗村麒麟城工業(yè)區(qū)新 益大廈(集友工業(yè)邨對面)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品參數(shù)
品牌Nidek
產(chǎn)品特性測量儀
是否進(jìn)口
產(chǎn)地東莞
加工定制
測量范圍100
測量精度0.002
分辨率0.002
電源電壓10
可售賣地全國
用途測晶片翹曲度
型號ft-17


Nidek 晶片平坦度/翹曲度測量儀FT-17和FT-900(Si/Ge/GaAs/InP/SiC/LT/LN)

Nidek高精密平面度檢測儀, 適用于透明晶體物體(如藍(lán)寶石晶片等)和LED外延晶片、芯片的檢測。

其應(yīng)用不僅局限于對藍(lán)寶石襯底單面/雙面的表面平坦檢測,而且更多地應(yīng)用于對外延之后,外延層表面品質(zhì)、TTV等的檢測和評估。

在電腦顯示屏上,它可自動生成三維立體的表面彩色效果圖,以幫助人們清楚細(xì)微地、直觀地了解和掌握對象物表面層生長的情況。


此外,它也適用于液晶電視屏幕面板所需要的大而平的圖形掩膜的檢測。


Nidek高精密平面度檢測儀, 適用于透明晶體物體(如藍(lán)寶石晶片等)和LED外延晶片、芯片的檢測。

其應(yīng)用不僅局限于對藍(lán)寶石襯底單面/雙面的表面平坦檢測,而且更多地應(yīng)用于對外延之后,外延層表面品質(zhì)、TTV等的檢測和評估。

在電

測試項(xiàng)腦顯示屏上,它可自動生成三維立體的表面彩色效果圖,以幫助人們清楚細(xì)微地、直觀地了解和掌握對象物表面層生長的情況。


該產(chǎn)品目前已在國內(nèi)大手廠商中廣泛采用,特別是在外延片的品質(zhì)檢測方面。頗受好評。

據(jù)不完全統(tǒng)計,至2012年底該產(chǎn)品已被國內(nèi)LED襯底和外延片80多家廠家所使用。


吸附:GFLR、GF3D、GF3R、TV、GBIR、TAPER、TAng、SFLR、SFLD、SFQR、SF3R、SF3D、SBIR、SBID

非吸附:BOW、SORI、整體應(yīng)力、局部應(yīng)力


可測試晶片種類

切割片、研磨片、拋光片、外延片、磊晶片

可選配光刻區(qū)域模擬軟件、應(yīng)力分析軟件等




FT-17 Series

FT-900 Series

無解析

無顯示

帶解析

帶解析

(V2規(guī)格)

無解析

無顯示

帶解析

帶解析

(V2規(guī)格)

測定方法

光波干涉方式(斜入射)

光源

半導(dǎo)體激光(655nm、3mW)

He-Ne激光(632.3A、5mW)

樣本尺寸

直徑130mm以下

(平坦度測定100mm以下)

直徑200mm以下

樣本厚度

2000um以下(根據(jù)測量承載臺不同,大可達(dá)10mm),其他厚度需客戶另行協(xié)商

樣本種類

Wafer(Si、化合物、酸化物、玻璃)、金屬片、硬盤(鋁、玻璃)等鏡面和非鏡面(反射率低的非鏡面不可測試)

樣本傾斜角度

垂直方向傾斜8度

垂直或垂直方向傾斜8度

干涉計設(shè)定敏感度

1、2、3、4、5u/紋理(下底面基準(zhǔn)時只有1、2um/紋理,且厚度1mm以上時1um/紋理)

測定范圍

紋理敏感度30倍(根據(jù)紋理狀況以及測試鏡頭倍率關(guān)系,有時不能達(dá)到30倍)

攝影鏡頭倍率

3倍以上

顯示分解能


0.01um


0.01um

重復(fù)精度

Repeatability:1б


0.02S+0.02M(um)

條件:樣本設(shè)定后連續(xù)測試

S:紋理敏感度

M:測定值


0.02S+0.02M(um)

條件:樣本設(shè)定后連續(xù)測試

S:紋理敏感度

M:測定值



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