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概括：

EMS 加熱板/烤膠臺（英文名：Hot Plate）又名烘膠臺，烤膠臺，加熱平臺，烤膠板，熱臺，熱板等用途可在光刻工藝中的涂膠后的軟烘，暴光后烘，顯影后的堅膜，磨片粘片熔臘等，它采用整體鑄造，加熱板作為加熱體，增強了設備的安全性。

采用單片機作為控制核心部件，有極高jinque的控溫精度，緊湊美觀。該設備對一些溫度敏感材料（如晶體、半導體、陶瓷等）進行加熱和裝卡尤為適用。該設備結構簡單，操作簡便，安全可靠，是從事半導體熱處理、材料研究生產、溫度干燥試驗等必不可少的工具。

產品特點：

加熱面積大，加熱均勻，升溫快；

采用微處理芯片jinque控制溫度，持續加熱，抗電磁干擾；

特殊防腐材料，耐腐蝕，使用壽命長；

設計美觀大方；

熱板表面材料：陽極氧化鋁

溫度加熱范圍：50℃到150℃（可升級到250℃）

溫度均勻性：工作界面上±1

適用基片尺寸：10mm~150mm

配置真空端口，與真空泵連用可以使基片和熱板的緊密接觸，提高導熱性。

P.I.D溫度控制，數字顯示，可編程。

高亮度4位數字LED顯示溫度

控溫顯示jinque到0.1位（℃/℉）

真空度＞15”；(需要配置一臺小型真空泵)

外觀尺寸：350×290×100mm。

熱板配置直徑2.5mm頂針，升起高度<=3mm；

3根頂針，外接圓內徑約75mm；

配置定時器，可編程定時控制真空和頂針。

應用：

固化光刻膠，前烘，堅膜等

固化環氧塑脂

其它需要高精度控溫的場合

邁可諾技術有限公司

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