| 掃描讀數(shù)頭AELS186C訂貨號(hào)658492-01不帶電纜 |
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上海浩凌貿(mào)易有限公司
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掃描讀數(shù)頭AE LS 186C訂貨號(hào)658492-01不帶電纜 現(xiàn)在Heidenhain玻璃透射光柵和金屬反射光柵的柵距只采用20μm和40μm，對(duì)衍射光柵柵距采用4μm和8μm，（1nm光柵除外）光學(xué)二倍頻后信號(hào)周期為2μm和4μm。Heidenhain要求開式光柵一個(gè)信號(hào)周期的位置偏差僅為±1，閉式光柵僅為±2，光柵信號(hào)周期及位置偏差見表2 表2?? ???--------------------------------------------------------------------?????光柵類別?信號(hào)周期（μm）?一個(gè)信號(hào)周期內(nèi)的位置偏差（μm）?? ???--------------------------------------------------------------------?????幾何光柵?20和40?開啟式光柵尺±1，即±0.2~±0.4?????封閉式光柵尺±2，即±0.4~±0.8?? ???--------------------------------------------------------------------?????衍射光柵?2和4?開啟式光柵尺±1，即±0.02~±0.04?????封閉式光柵尺±2，即±0.02~±0.08?? ???-------------------------------------------------------------------- --------------------------------------------------------
掃描讀數(shù)頭AE LS 186C訂貨號(hào)658492-01不帶電纜 信號(hào)的處理及柵距的細(xì)分?????光柵的測(cè)量是將一個(gè)周期內(nèi)的式測(cè)量和周期外的增量式測(cè)量結(jié)合在一起，也就是說(shuō)在柵距的一個(gè)周期內(nèi)將柵距細(xì)分后進(jìn)行的測(cè)量，超過(guò)周期的量程則用連續(xù)的增量式測(cè)量。為了 測(cè)量的精度，除了對(duì)光柵的刻劃質(zhì)量和運(yùn)動(dòng)精度有要求外，還必須對(duì)光柵的莫爾條紋信號(hào)的質(zhì)量有要求，因?yàn)檫@影響電子細(xì)分的精度，也就是影響光柵測(cè)量信號(hào)的細(xì)分?jǐn)?shù)（倍頻數(shù)）和測(cè)量分辨力（測(cè)量步距）。柵距的細(xì)分?jǐn)?shù)和準(zhǔn)確性也影響光柵測(cè)量系統(tǒng)的準(zhǔn)確度和測(cè)量步距。對(duì)莫爾條紋信號(hào)質(zhì)量的要求主要是信號(hào)的正弦性和正交性要好信號(hào)直流電平漂移要小。對(duì)讀數(shù)頭中的光電轉(zhuǎn)換電路和后續(xù)的數(shù)字化插補(bǔ)電路要求頻率特性好，才能 測(cè)量速度大。
在80年代后期柵距為10μm的透射光柵LID351（分辨力為0.05μm）其間隙要求就比較嚴(yán)格為（0.1±0.015）mm。由于采用了新的干涉測(cè)量原理對(duì)納米級(jí)的衍射光柵安裝公差就放得比較寬，例如指示光柵和標(biāo)尺光柵之間的間隙和平行度都很寬（表1所示）。只有衍射光柵LIP372的柵距是0.512μm，經(jīng)光學(xué)倍頻后信號(hào)周期為0.128μm，其他柵距均為8μm和4μm，經(jīng)光學(xué)二倍頻后得到的信號(hào)周期為4μm和2μm，其分辨力為5nm和50nm，系統(tǒng)準(zhǔn)確度為±0.5μm和±1μm，速度為30m/min。LIF系列柵距是8μm，分辨力0.1μm，準(zhǔn)確度±1μm，速度 |
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