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氦氣檢漏儀的工作原理是什么？

主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計組成，離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子，分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質荷比不同；在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，再設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙；打在收集器上，收集放大器收集氦離子流并出入到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率。

什么是氦質譜檢漏儀

氦質譜檢漏儀品牌淺析什么是氦質譜檢漏儀

氦質譜檢漏儀可靠的品質保證廣泛的市場應用，此款氦質譜檢漏儀適用于工業、分析研究、鍍膜市場等。此款氦質譜檢漏儀堅固耐用，抗震性能極強，可反復使用數年仍保證的檢漏漏率。氦質譜檢漏儀緊湊的設計適合串列生產和持續工作。氦質譜檢漏儀主要特點：前級泵配備抽速高達15 m3/h 旋片泵，對氦氣抽速可達 2.5l/s，氦質譜檢漏儀 ASM 340 對氦氣的蕞小檢測漏率：

真空模式：5 · 10-13 Pa m3/s

吸槍的模式：5 · 10-10 Pa m3/s

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檢漏儀使用中注意事項

檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點：

①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內，電壓過低儀器啟動困難，且性能不穩定，電壓過高會燒壞電源，嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵，應連接穩壓電源(UPS)。

②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。

③檢漏儀應按照說明書的要求定期進行保養，保養的項目有更換機械泵油、更換過濾網、更換過濾器。

本文介紹了5 種檢漏儀常見故障的分析與處理方法，其中儀器內部存在泄漏環節是一個易被忽視卻又易產生故障的環節，當檢漏部位的復檢結果不一致時，就需檢測儀器內部是否有漏。檢漏儀內部結構緊湊，定位難度大，本文采用切斷分子泵風扇電源和使用小流量噴槍的方式，提高了密封部位定位的能力。檢漏儀是檢漏工作的核心部件，在使用過程中應嚴格按照說明書的操作要求進行使用。文中以上出現的故障、現象的處理方式是本單位在多年使用過程中的一個總結和歸納。對檢漏工作者具有一定的參考價值。

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