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SU-83000光刻膠3010\/3005\/3025\/3050SU-8膠光刻膠
SU-83000光刻膠3010\/3005\/3025\/3050SU-8膠光刻膠 價格:\u9762\u8bae  元(人民幣) 產地:本地
最少起訂量:1 發貨地:本地至全國
上架時間:2024-11-01 19:55:16 瀏覽量:29
武漢邁可諾科技有限公司  
經營模式:代理商 公司類型:私營有限責任公司
所屬行業:實驗室設備/實驗室儀器 主要客戶:高校實驗室科研單位
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詳細介紹

產品參數
SU-8 3000光刻膠 3010/3005/3025/3050 SU-8膠 光刻膠 品牌邁可諾
發貨地武漢
產地美國
起訂量100ml
可售賣地全國
型號SU83000

概括

SU-8 3000是一種高對比度,基于環氧的光刻膠,專為微加工和其他微電子應用中,

需要化學和熱穩定的圖像。 SU-8 3000是SU-8和SU-8 2000的改進配方,已被廣泛采用

由MEMS生產商使用多年。 SU-8 3000有配制用于改善附著力和降低涂層應力。

SU-8 3000的粘度范圍允許膜厚為4至單層涂層厚度為120 μm。


特征

?提高附著力

?降低涂層應力

?高縱橫比成像

?垂直側壁

?單層涂膜厚度大于100mm

?出色的抗干蝕刻性

SU-8 3000抗蝕劑經過專門設計,可與MicroChem的SU-8顯影劑一起用于浸漬,噴涂或噴漿工藝。 也可以使用其他基于溶劑的顯影劑,例如乳酸乙酯和雙丙酮醇。 對于高縱橫比和/或厚膜結構,也建議強烈攪拌。 表6中給出了浸入過程的建議顯影時間。這些顯影時間是近似的,因為實際溶解速度會隨著攪拌而變化很大。

SU-8 3000具有良好的機械性能。 但是,對于要保留成像的抗蝕劑作為最終設備一部分的應用,可以在加熱板上或對流烤箱中在150-200°C之間將抗蝕劑進行坡道/分步硬烘烤,以進一步使材料交聯。 烘烤時間根據烘烤過程的類型和膜厚的不同而不同。



邁可諾技術有限公司

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