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供應韓國MKP氣體流量控制器
數(shù)字式質(zhì)量流量計TSM-D220--對氣體耐久性-韓國MKP
歡迎廣大客戶來電咨詢:吳經(jīng)理：132，466，75433

下圖是具體參數(shù)：

TSM-D220
產(chǎn)品規(guī)格：
流量范圍： 1.5-30slm
流量控制范圍： 2~100 of F.S
精確度： ≤±1 of F.S
響應時間： ≤2 Sec (10~100)
直線性： ≤±0.2 of F.S
再現(xiàn)性： ≤±0.2 of F.S
密封種類： 標準PTFE
輸出入信號： 數(shù)字型：RS-485/模擬型：0-5VDC或4-20mA
電源： 24VDC
工作溫度范圍： 15-35 ℃
預熱時間： 30分鐘
連接方式： D-SUB-9P MALE
重量（STS基準）： 0.75 kg
重量（AL基準): 0.46 kg

MKP氣體質(zhì)量流量控制器和流量計廣泛應用于:
真空鍍膜設備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等
離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導體、燃料電池、氣調(diào)儲存保鮮相關設備、生物反應器、
生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療設備、氣相色譜儀等相關行業(yè)。

韓國MKP
主營產(chǎn)品：
流量控制器
質(zhì)量流量控制器
氣體質(zhì)量流量計
氣體質(zhì)量流量控制器
電子壓力控制器
數(shù)字質(zhì)量流量控制器
MKP新型號：
數(shù)字質(zhì)量流量控制器：

型號
VIC-S220
VIC-W220
TSM-L100系列:
TSM-L120,TSM-L130,TSM-L140
MPR-Z300
EXO-100系列：
EXO-110，EXO-120，EXO-140，EXO-145
EXO-U100系列：
EXO-U145，EXO-U150，EXO-U155
VIC-S220
VIC-W220