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氦質譜檢漏儀的檢漏方式有那些

氦質譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規檢漏，另一種為逆擴散檢漏。

逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質譜管內而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質量的氣體具有不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比）即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設計的。

氦質譜檢漏儀逆擴散原理

逆擴散方式檢漏允許被檢件內壓強較高，氦質譜檢漏儀可達1000Pa（一般常規檢漏儀為0.05Pa以下），適合檢大型容器或有大漏的器件，也適合吸槍檢漏。逆擴散方式還具有質譜管不易受污染，燈絲壽命長等優點。

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氦質譜檢漏儀的應用拓展

氦質譜檢漏儀的應用已從科學院、大專院校、實驗室及少數科研機構走向工礦企業，甚至鄉鎮企業、個體企業，可以說應用領域極其寬廣。

航空航天高科技工業

1）例如火箭發動機及姿態發動機，過去是打壓刷肥皂水檢漏，現在重新改進工藝用氦質譜檢漏儀檢漏，采用正壓吸槍與氦罩法結合，使檢漏靈敏度大大提高，從而保證了發動機質量�；鸺w的檢漏采用正壓吸槍、氦罩法、累集法等幾種方法的結合。由于檢漏技術的應用，提高了檢漏靈敏度，彌補了吸入法檢漏時儀器靈敏度低的不足。

2）KM6空間環模裝置設備龐大，主真空室直徑12m、高22m，另外有輔助真空室和載人艙等。容積3500m3，分系統多，結構復雜，各種接口焊縫相加有幾千米長，采用氦質譜檢漏儀負壓檢漏，每條焊縫由檢漏盒密封，配以鋪助抽氣系統將盒內抽低真空后，充入一定壓力氦氣，關閉預抽閥，開啟檢漏閥。由于盒內氦濃度較高，相對檢漏儀又有一定壓力，因此有效提高了檢漏靈敏度。

3）航天工業中，衛1星、各類閥門、電子元器件，傳感器等等都在廣泛應用氦質譜檢漏儀及其檢漏技術。

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氦氣檢漏的基本功能（部分功能可選配）

1、對被檢工件充注高壓氮氣或壓縮空氣進行耐壓強度和大漏氣密性檢驗；

2、對被檢工件抽真空；

3、對被檢工件充注氦氣；

4、真空箱法氦質譜檢測，自動判斷工件漏率合格與不合格；

5、回收并循環使用氦氣；

6、如果氦氣浪費嚴重，可以將使用過程中濃度不合格的氦氣進行提純

7、PLC控制，觸摸屏操作，自動檢測。

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