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氦質譜檢漏儀的應用拓展（四）

（1）制冷行業

冰箱、空調、汽車用空調、蒸發器、冷凝器、奪縮機、低溫儲槽。

（2）不銹鋼保溫器皿

真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。

（3）其它

據日本有關文章介紹，日本汽車制造業，已有30多種零部件在使用氦質譜檢漏儀檢漏，解決密封問題。其中包括液壓系統、制動系統、轉向系統、避震系統、汽車輪轂。

有待于開拓的檢漏領域還很多，但由于思想觀念的束縛以及經費等諸多原因，在很多領域還一直沿用古老且較為落后的手段處理泄漏問題。產品合格率和生產效率低。從某種意義上講，這種工作方式制約了生產力的發展。因此，對于真空專業技術人員，特別是從事真空設備的研制和生產氦質譜檢漏儀的專業廠家，應在氦質譜檢漏儀的應用推廣上進一步下功夫，為推動我國真空技術的發展而努力。

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什么是氦質譜檢漏儀

氦質譜檢漏儀品牌淺析什么是氦質譜檢漏儀

氦質譜檢漏儀可靠的品質保證廣泛的市場應用，此款氦質譜檢漏儀適用于工業、分析研究、鍍膜市場等。此款氦質譜檢漏儀堅固耐用，抗震性能極強，可反復使用數年仍保證的檢漏漏率。氦質譜檢漏儀緊湊的設計適合串列生產和持續工作。氦質譜檢漏儀主要特點：前級泵配備抽速高達15 m3/h 旋片泵，對氦氣抽速可達 2.5l/s，氦質譜檢漏儀 ASM 340 對氦氣的蕞小檢測漏率：

真空模式：5 · 10-13 Pa m3/s

吸槍的模式：5 · 10-10 Pa m3/s

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氦質譜檢漏儀故障與處理

(1)內部的密封結構

當檢漏儀內部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。 檢漏儀內部主要的密封部位在檢漏儀的后側(見圖2)，位于隔熱板的上方：①檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位，密封方式采用膠灌密封，檢漏儀在運輸過程中如遇到強烈震動，此處容易造成密封膠開裂。②各電磁閥與閥門組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封，橡膠圈的密封壽命有限，使用5 年以上時，有可能會存在密封失效的問題。③各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。

(2)定位方法

采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測，因檢漏儀內部結構緊湊，各密封結構間的距離很近，檢測時定位難度較大。經摸索，在檢測時采用以下技巧，可提高定位的能力：①查漏前，先將分子泵風扇的電源斷開，避免風扇將氦源吹散至各個密封環節，造成定位不準確。②噴吹時，要嚴格控制氦源的流量，盡量采用噴槍咀流量小的噴槍，提高定位的能力。③儀器的反應時間小于1 s，所以在一個部位噴吹的時間約3 s，再等待約3 s 后觀測信號有無變化。

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