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測量、測控氣體介質(zhì)的質(zhì)量流量

美國ALICATMC20系列質(zhì)量流量控制器

Alicat的LK2系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可通過定制化的高速比例調(diào)節(jié)閥測量與控制過程氣體的質(zhì)量流量體積流量和壓力，還可同時測量并顯示氣體溫度。

MC20系列質(zhì)量流量控制器內(nèi)部無可移動組件和熱元件通過抗振動測試對安裝方向不敏感。Alicat提供總體的用戶支持，包括技術(shù)咨詢

快捷的設備校準服務和質(zhì)保。

alicat模擬量氣體流量控制器M20系列

標準精度0.8RD 0.2FS、高精度0.4RD 0.2FS

有效范圍0.5-

內(nèi)置90-130條氣體曲線可選

響應速度100MS

多種數(shù)字信號可選

alicat模擬量氣體流量控制器M20系列

性能/參數(shù)

MC20系列質(zhì)量流量控制器

流量范圍

0.5SCCM-5000SLPM

可自行修改流量單位如kg/h、g/min等

標定氣體

內(nèi)置90條氣體可選擇

精度(調(diào)零后)

±(0.8Rd 0.2FS)

高精度(調(diào)零后)

±(0.4Rd 0.2FS),限于5SCCM-500SLPM

重復性

±0.2FS

漂移(零點/滿量程)

0.02 F.S/oC/Atm

工作范圍

0.5-

響應時間

100毫秒(調(diào)整)

啟動預熱時間

1秒內(nèi)

標準工況

25oC & 14.696 psia，可自定義修改

工作溫度范圍

-10~-50℃(另有高溫訂制品)

工作濕度范圍

0-RH(非冷凝)

工作壓力

10Bar

安裝方向

任意

閥門狀態(tài)

常閉

材質(zhì)