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MKS 真空閥622a-13tee
MKS 真空閥622a-11714
MKS 真空閥622a-12tee
真空/壓力傳感器
測量類型絕對的
傳感器溫度控制在100攝氏度
滿量程壓力范圍0.05、0.1、0.25、1、2、10、20和100托
準確讀數的0.25
<1托和0.05托為0.5
模擬輸出0-10 VDC輸入 3E10K負載
零溫度系數1-100托范圍內為滿量程的0.002/℃
0.1托時為0.01滿量程/℃
0.05托時為0.02滿量程/℃
跨度溫度系數讀數的0.02/℃
工作溫度范圍15-50攝氏度
卷6.3毫升
預熱時間1托或更高壓力下2小時
<1托4小時
過壓極限45 psia (310 kPa)或120滿量程，以較大者為準
暴露材料鎳基合金
電源要求15伏直流5 @ 0.6安培(最大值)
服從