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單面紫外光刻機,教學光刻機URE200017

	價格：150000.00 元(人民幣)	產(chǎn)地：上海上海
	最少起訂量：1	發(fā)貨地：上海上海
	上架時間：2024-02-28 12:45:53	瀏覽量：51
	米歇爾集團上海工程技術(shù)有限公司
	經(jīng)營模式：生產(chǎn)加工	公司類型：私營股份有限公司
	所屬行業(yè)：變送器	主要客戶：石油化工行業(yè)
	在線咨詢

聯(lián)系方式

聯(lián)系人:陳先生 (先生)	手機:15102116866
電話:	傳真:
郵箱:michellgroup@163.com	地址:博園路1333號北虹橋大廈8509室

詳細介紹

產(chǎn)品參數(shù)
品牌	鑫有研

產(chǎn)品名稱：URE-2000/17型紫外光刻機
主要技術(shù)指標：
曝光面積：100mm×100mm
分辨力：1.5μm（膠厚2μm的正膠）；
對準精度：±1μm
最大膠厚：
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)；
照明均勻性：±6（Ф100mm 范圍）
汞燈功率：200W（直流）
掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
技術(shù)特點：
采用雙目雙視場顯微鏡對準；球碗調(diào)平,單片機控制,觸摸開關(guān),操作方便、實用性強。

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