| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 |
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| 流量范圍（N2） | 10/50/100/500 SCCM 1/5/10/20 SLM | 50/100/200 SLM |
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| 可氣體 1） | N2（空氣，H2，He，Ar，O2，CO2等/通過CF轉(zhuǎn)換切換） | N2（空氣切換，Ar / CF轉(zhuǎn)換） |
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| 響應 | 2秒以內(nèi) |
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| 精度 2） | ±1.0F.S. (25℃) | ±1.5％FS（25°C） |
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| 溫度系數(shù) | ±0.2F.S./℃ (15～35℃) ※200SLMのみ±0.4F.S./℃ |
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| 再現(xiàn)性 | ±0.2F.S. |
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| 耐壓 | 980ｋPa(G) |
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| 允許周圍溫度 | 5～50℃ |
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| 允許保管溫度 | -10～60℃ |
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| 允許工作濕度 | 10～90RH （無結(jié)露） |
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| 氣體接觸材料 | SUS316，SUS316L，PTFE，F(xiàn)KM（可選NBR，CRP） |
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| 電氣連接 | DC插孔或Dsub 9針公頭 |
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| 數(shù)字通信 | RS 485（MODBUS協(xié)議，RTU模式）ID：1-247 |
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| 所需電源（DC） | 24VDC(±10) 100mA以下 |
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| 接頭 | 1/4F900（標準） | 3/8F900（標準） |
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| 控制針（可選） | MODEL2412 | MODEL2412D |
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| 安裝姿勢 | 水平方向 |
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| 輸出 | 輸出方式 | NPN開集 2點（額定值：DC30V 50ｍA） |
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| 輸出數(shù)量 | 2點（每個輸出可以選擇并設(shè)置為瞬時流量上限，下限，上限/下限或積分到達，積分脈沖也可以在1點選擇。）輸出反轉(zhuǎn)是可能的 |
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| 活動展示 | LED燈（OUT1，OUT2）亮起 |
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| 模擬輸出 4） | ①4～20mA (500Ω以下)、0～5V (10kΩ以上)、1～5V (10kΩ以上) |
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| 重量 | 約600g （不含接頭） | 約700g （不含接頭） |
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