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PLS 960 系列多點液位探頭采用套筒式緊湊結(jié)構(gòu)設(shè)計，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體
行業(yè)。 適合起泡器、試管、 安瓿瓶和供應(yīng)罐內(nèi)高純度化學(xué)品液位的高精度和
高可靠性的測量。液位計在化學(xué)氣相沉積過程中至關(guān)重要，如 ALD， CVD，
PVD 等半導(dǎo)體晶圓制造過程。 PLS 9600 系列多點液位計專業(yè)用于檢測非常昂
貴的超高純度化學(xué)品（DEAT， DMAH， TAETO， TEOS 和金屬化初級粒子等）
的確切數(shù)量，減少化學(xué)廢物，增加產(chǎn)量和利潤。

該液位計采用超聲波技術(shù)檢測液體在容器中的存在狀態(tài)，無可移動部
件，液位檢測不受被測物的介電常數(shù)、 種類、 顏色、 密度和粘度的影響。
探頭采用 316L 不繡鋼材質(zhì)，結(jié)構(gòu)上可通過 VCR 等與容器連接，在運(yùn)輸和
使用過程中與容器不分離 ， 通過了 5E-09 ATM-CC/Sec HE 的真空泄漏測試。
K 型溫度計可選。

模塊不需要校準(zhǔn)。通過模塊的算法和控制， 探頭可不受被測物的介電常
數(shù)、種類、顏色、密度和粘度的影響均可準(zhǔn)確測量。每個傳感點位有 1A
SPDT 繼電器輸出，下列型號是第 5 個繼電器的選項。
P/N 096-20004:- 4 X 1A SPDT with an Auto-Fill / Auto-Empty relay (B & C)
P/N 096-20014:- 4 X 1A SPDT with Fault Relay (no sensor, lower point dry while
point above shows wet).
P/N 096-20034:- 4 X 1A SPDT with Fault Relay and Thermocouple K-type display.
P/N 096-20054:- 4 X 1A SPDT with Fault Relay in Fail-safe mode.
P/N 096-20094:- 4 X 1A SPDT with Fault Relay and Thermocouple K-type display
in Fail-safe mode.

探頭如所述要求裝入容器，注意不要損壞 VCR 接頭。進(jìn)料前先做泄漏測
試。
模塊外殼有 4 個安裝孔（參考下圖尺寸圖）。確保模塊外殼用導(dǎo)通（金
屬） 螺絲固定在接地平面臺上。 撕掉模塊電路一個固定孔上的標(biāo)簽以確保與
接地平面臺上的穩(wěn)固連接。3 | P a g e
從負(fù)極接地線到安裝孔，以確保負(fù)極與接地平面臺同樣是地極。 (參考如
下接線連接圖)
輸入電源是 24VDC /- 10 。