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DF300C系列質量流量控制器-數顯式

型號

DF300C

DF350C

量程(N2)

10SCCM-20SLPM

20-50SLPM

氣體

所有非腐蝕氣體和 部分腐蝕氣體

精度

±1.0SP(＞35FS)

±0.35FS(≤35FS)

±1.0FS

重復性

±0.25FS

有效范圍

2-

響應時間

1秒以內

耐壓

1.0Mpa

進口壓力

0.5Mpa

泄漏率

1*10-8pa·m3/s以下

溫度范圍

5~50℃

精度 溫度

15~35℃

保存溫度

-10~60℃

濕度范圍

10-90RH(不能結露)

材質

本體SUS316、SUS316L

密封圈VITON，選配NBR或FKM

電氣接口

DB15

通訊接口

圓形4芯

模擬信號

輸入/輸出0-5V、4-20mA 可切換

報警輸出3點

NPN、3點、35V、50mA

供電

24VDC(±10)300mA；

管路連接

標配1/4F9

選配1/8F9、1/4UJR、RC1/4

重量

約800g

針腳

定義

1針腳

24VDC

2針腳

電源GND

3針腳

空

4針腳

閥門開關信號

5針腳