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aerotech ANT130XY雙軸XY納米定位級平臺
我們的超精密ANT130XY載物臺采用集成的雙軸設計，可提供卓越的平面性能和出色的幾何特性。ANT130XY載物臺配備剛性、抗蠕變交叉滾子軸承、高分辨率位置反饋和無鐵芯直線電機，可實現最平穩、最精確的運動，并通過超高精度2D校準進一步增強，以優化最苛刻的檢測和制造工藝。此外，動態優化的設計可實現令人印象深刻的速度和工藝吞吐量。

設計特點
增強的第二代設計
實現最小增量運動至 0.5 nm - 新
通過集成的 XY 設計優化正交性、直線度和平整度
通過 ULTRA 校準選件保證 ±225 nm 或更高的二維精度
采用高精度交叉滾子軸承，具有出色的動態性能和充足的負載能力
通過無鐵芯直驅直線電機最大限度地提高過程吞吐量和可靠性

主要應用
ANT130XY非常適合需要高精度和動態定位性能的多軸應用，包括：

光子學組裝和檢查
光纖對準和優化
光學制造、測試和檢驗
傳感器測試和認證
半導體加工和檢測
表面計量和剖面測量
研究和實驗室應用
超精密載物臺設計
ANT130XY的集成雙軸設計允許您優化關鍵的幾何元素，如正交性，直線度和平整度，從而產生具有出色運動特性的載物臺。我們的直接驅動技術沒有滯后或間隙，可在 X 和 Y 尺寸上實現精確且可重復的納米級運動。ANT130XY 提供三種行程選項，范圍從 60 mm x 60 mm 到 160 mm x 160 mm，所有行程均具有 85 mm 的緊湊總高度。