| 產(chǎn)品參數(shù) | | 標(biāo)準(zhǔn)教學(xué)光刻機(jī)URE-2000/17紫外光刻機(jī)標(biāo)準(zhǔn)型 品牌 | 鑫有研 | | .jpg)
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紫外光刻機(jī) 型號(hào):URE-2000/25型 教學(xué)標(biāo)準(zhǔn)型紫外光刻機(jī) 主要技術(shù)指標(biāo): 曝光面積:100mm×100mm 分辨力:1.7μm(膠厚2μm的正膠); 對(duì)準(zhǔn)精度:±1μm 最大膠厚: 掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch 樣片尺寸:直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm); 照明均勻性:±6(Ф100mm 范圍) 汞燈功率:200W(直流) 掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6° 技術(shù)特點(diǎn): 采用雙目雙視場(chǎng)顯微鏡對(duì)準(zhǔn);球碗調(diào)平,單片機(jī)控制,觸摸開(kāi)關(guān),操作方便、實(shí)用性強(qiáng)。
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