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高分辨率、高精度手動紫外光刻機URE-2000\/25LURE-2000\/25

$高分辨率、高精度手動紫外光刻機URE-2000\/25LURE-2000\/25$	價格：200000.00 元(人民幣)	產地：北京北京
	最少起訂量：1	發貨地：北京北京
	上架時間：2023-11-03 22:43:08	瀏覽量：67
	上海鑫有研電子科技有限公司
	經營模式：其他	公司類型：中外合資經營
	所屬行業：專用儀器	主要客戶：各大高校，研究院及企事業單位
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詳細介紹

產品參數
高分辨率、高精度手動紫外光刻機URE-2000/25L URE-2000/25 品牌	鑫有研

高精度紫外光刻機
型號：URE-2000/25 URE-2000/25L
主要技術指標：
曝光面積：100mm×100mm
分辨力：1.5μm（膠厚1.5μm的正膠）
對準精度：±0.8μm
最大膠厚：300μm（SU8膠）
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)；
照明均勻性：±4（Ф100mm 范圍）
汞燈功率：200W（直流）
掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
技術特點：
球氣浮實現高精度調平；超精密手輪對準調節，單片機控制,觸摸開關操作；整機精度高、性能可靠

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