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日本標準質量流量控制器大學和研究機構用KOFLOC3665質量流量控制器
日本標準質量流量控制器大學和研究機構用KOFLOC3665質量流量控制器 價格:6950.00  元(人民幣) 產地:北京北京市
最少起訂量:1 發貨地:北京北京市
上架時間:2023-10-05 06:46:24 瀏覽量:119
北京芯笙微納電子科技有限公司  
經營模式: 公司類型:其他有限責任公司
所屬行業:計量標準器具 主要客戶:
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詳細介紹

產品參數
品牌KOFLOC
原理質量流量計
工作溫度0~50℃℃
測量范圍10SCCM~20SLMm3/h
精度等級±1F.S.
測量精度±1F.S.
安裝形式參考說明書
重量約1500gkg
加工定制
是否進口
可售賣地全國
用途液體流量計
型號3665
貨號3665

  日本標準質量流量控制器大學和研究機構用 KOFLOC 3665質量流量控制器

  MODEL 3660 SERIES

  日本標準質量流量控制器 KOFLOC 3665質量流量控制器系列是一款質量流量控制器,主要結構緊湊,成本低廉。

  從大學和研究機構的研發應用中,我們作為各種分析儀器和真空設備的標準模型取得了許多成就,我們有各種衍生模型和選項。

  配備流量傳感器,采用改進的恒流溫差檢測方法,實現高速響應

  采用常閉閥門,方向操作安全

  通過電磁執行器確保高可靠性

  燃氣控制的低壓差規格(LP選項:僅限3660)

  標準規格大學和研究機構用質量流量控制器

模型36603665
流量范圍

  (N2轉換20°C / 1 ATM)

10SCCM~20SLM(可選)30SLM~100SLM(可選)
傳感器方式熱繞組傳感器
閥門方法比例螺線管閥門(未通電時關閉)
控制范圍 1)2~100%(F.S.)5~100%(F.S.)
響應速度在2秒內

 。ㄔ凇2%F.S.內)

在3秒內

  (在±2%F.S.內)

準確性±1.0%F.S.(25°C)±1.5%F.S.(25°C)
溫度系數±0.1%F.S./°C(15~35°C)±0.2%F.S./°C(15~35°C)
再現性±0.5F.S.
操作壓差F.S.≤5SLM 50~300 kPa(G)F.S.≤50SLM 150~300 kPa(G)
F. S gt; 5 SLM 100~300 kPa(G)F. S gt; 50 SLM 200~300 kPa(G)
可選:中壓差壓規格(MP),低壓差規格(LP)可根據條件制造
壓力 1)980kPa(G)
He泄漏率 2)1 x 10-8 Pa.m3/s以下
允許周圍溫度5~45℃
允許環境濕度10~90RH(無結露)
氣體接觸材料主體SUS316,SUS316L,磁性不銹鋼
閥座FKM(選件CR或NBR)
密封材料FKM(選件CR或NBR)
電氣連接Dsub 9針KFC標準(符合SEMI標準)
流量設定

  輸入信號

0~5VDC

 。ㄝ斎胱杩1MΩ以上)

流量輸出信號0~5 VDC(外部負載電阻250kΩ以上)
所需電源 15 VDC(±5%)100 mA,。15 VDC(±5%)250 mA
接頭

  (體型)

標準1 / 4F900

 。9 / 16.18 UNF)

  選項1/8 F900,1 / 4 UJR,Rc1 / 4等

標準3 / 8F 900

  (9 / 16.18 UNF)

  選項1 / 2F 900,3 / 8 UJR,Rc 3/8等

重量約1000g約1500g

   1)不含滲透。

  長期滲透引起的泄漏量(參考值)為1×10.6Pa?m3 / sec以下。

  日本標準質量流量控制器 KOFLOC 3665質量流量控制器 警告

  流量范圍附帶的規格(流量范圍,精度,響應性等)是N2或空氣轉換中的規格。

  另外,生產規格條件是初級側小于300kPa,次級側向大氣開放。

  有關壓力條件,請另行咨詢。

  尺寸圖

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