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ALICAT 氣體質量流量計 MSQ系列

量程0.5 SCCM - 6000 SLPM，優于1的精度，測量 ，優于10 ms響應時間



美國ALICATmsq系列標準型質量流量計，采用 技術的內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質量流量計均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的MSQ系列數字式質量流量計可用于快速地測量過程氣體的質量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測控場合。?

?數字化產品

?多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

?可選 可優于0.5

?可測 ，0.01~

?響應時間快，優于10ms

?內置98種氣體

?可現場標定混合氣體，并存儲20種混合氣

量程為0.5 SCCM -6000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標升級：

質量流量普通精度??? ± 0.6 讀數或± 0.1 滿量程（取值）

質量流量 ? ? ? ? ± 0.5 讀數或± 0.1 滿量程（取值）

重復性? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ±（0.1 讀數 0.02 滿量程）

質量流量零點漂移??? ± 0.01滿量程/ ℃溫差

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ± 0.01滿量程/ Atm壓力差

質量流量量程漂移??? ± 0.01讀數/ ℃溫差

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ± 0.1 讀數/ Atm壓力差

介質要求??? 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類??? 內置了98種氣體，請參考背面

? ? ? ? ? ? ? ? ? 一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量? ? ? ?程??? 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（詳情請咨詢）

測量范圍??? 0.01～

顯示流量??? 128 滿量程

顯? 示? 屏??? 帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式??? 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精? ? ? ?度??? ± （0.8 讀數 0.2 滿量程）見上段精度升級部分

? ? ? ? ? ? ? ? ? ± （0.4 讀數 0.2 滿量程）（可選）

累計流量精度??? 流量精度之外增加± 0.5 額外誤差

重? 復? 性? ??± （0.2 讀數 0.02 滿量程）

質量流量溫度漂移??? 0.02 滿量程當溫度從25 ℃起每變化1 ℃

質量流量壓力漂移??? ± （0.08 讀數 0.02 滿量程）當壓力從標定壓力起，每變化1bar

響應時間??? 優于10 ms ??

預熱時間 ???<1 s

標定工況??? 25 ℃ & 1Atm（其它標況可調）

工作溫度??? -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

溫度精度??? ± 0.75 ℃

工作濕度??? 0 ～ 95，無冷凝

工作壓力??? 1 MPa 表壓（可選2 MPaG高壓系列）

操作壓力??? 如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPaA以上使用；

其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度??? ± 0.5 讀數（讀數＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）

進出口壓差??? 0.5MPa

滿量程壓損??? 參考詳細壓損表

數據刷新頻率??? 數字信號40 Hz@ 19200波特率；

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率??? 10 Hz

數字輸入/輸出信號??? RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*

模擬輸入/輸出信號??? 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選 路模擬輸出??? 質量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度??? 在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 量程誤差

供電電壓??? 7-30 VDC （如選4 - 20 mA輸出，須為15 - 30 VDC）

供電電流??? 40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）

電氣接口??? DB9，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN

泄漏率（外漏）??? 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材? ? ? ?質??? 302不銹鋼、Viton、RTV、玻璃增強尼龍、鋁

過程連接??? 詳情參考壓損表

安裝方式??? 對位置無要求

防護等級??? IP40

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