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ACP 系列風冷多級羅茨泵
ACP 系列多級羅茨泵是專為壓力范圍從大氣壓力直到 3 · 10-2?hPa 的無油無粒子應用而設計的。這種風冷泵是旋片泵的優(yōu)質替代品。

G 版本的泵經(jīng)過特別開發(fā)，是專為傳輸少量腐蝕性氣體而設計的。建議 ACP 系列的該版本用于傳輸室、工藝監(jiān)視系統(tǒng)以及離子束應用。風冷 ACP 系列的?CV 版本的水蒸汽容量可達每小時 1,000 克。其專為避免泵體內的蒸汽冷凝而設計。

以標準版本為基礎，已開發(fā)出多個特定版本的 ACP 泵以更好地滿足特定要求，例如：

• 無氟泵送方案，SH 和 R 版本，
• 抗核輻射，R 版本，
• 高價值氣體的循環(huán)和回收，CP 版本。

用于工業(yè)應用的 ACP 120 G 和 ACG 600 G
ACP 120 以上萬臺安裝于全世界范圍內的半導體流程泵為基礎，在工業(yè)應用中也同樣體現(xiàn)出多級羅茨泵的優(yōu)勢。水冷泵配有吹掃氣體管路，用于輕微腐蝕性工藝或抽空冷凝介質。ACP 120 可與羅茨泵組合成不同的泵站。羅茨泵站 ACG 600 可作為裝飾或工具涂層真空解決方案的完全免潤滑抽真空系統(tǒng)的基礎。

緊湊型干式泵：A 100 L 和 A 200 L
緊湊型干式泵 A 100 L 和 A 200 L 是為成本節(jié)約地集成到半導體生產(chǎn)系統(tǒng)而開發(fā)的。
A 200 L 經(jīng)過優(yōu)化，可以滿足抽空裝載互鎖所需嚴苛的頻繁泵送周期。

技術參數(shù)：